[发明专利]0.5um分辨率大视场在线投影加工系统

权利要求书

1.0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，包括加工设备本体（1），其特征在于：所述加工设备本体（1）的上端设置有磨具机构（2），所述磨具机构（2）的一侧设置有夹具机构（3），所述夹具机构（3）的下端设置有光源发射器（4），所述磨具机构（2）的上端设置有投影装置（5），所述投影装置（5）的外表面设置有显示模组（6），所述投影装置（5）的下端外表面设置有投影接收头（7），所述加工设备本体（1）的上端外表面设置有水平尺（8），所述加工设备本体（1）的下端设置有调平结构（9）。

2.根据权利要求1所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，其特征在于：所述加工设备本体（1）与磨具机构（2）、夹具机构（3）、光源发射器（4）、投影装置（5）、之间均为电性连接，所述投影接收头（7）的位置与光源发射器（4）的位置相对应。

3.根据权利要求1所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，其特征在于：所述投影接收头（7）呈圆柱状，所述投影接收头（7）的内部嵌入有透镜，所述投影装置（5）与显示模组（6）、投影接收头（7）之间均为为活动连接。

4.根据权利要求1所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，其特征在于：所述调平结构（9）包括液压伸缩柱（91），所述液压伸缩柱（91）的一侧外表面设置有调节手柄（92），所述液压伸缩柱（91）的下端外表面设置有支撑底板（93），所述液压伸缩柱（91）的上端外表面设置有安装板（94），所述安装板（94）的外表面设置有固定螺栓（95）。

5.根据权利要求4所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，其特征在于：所述加工设备本体（1）与水平尺（8）之间为活动连接，所述液压伸缩柱（91）位于加工设备本体（1）的下端外表面靠近拐角处呈阵列排布，所述液压伸缩柱（91）与调节手柄（92）之间为活动连接，所述液压伸缩柱（91）与支撑底板（93）之间为固定连接。

6.根据权利要求4所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，其特征在于：所述液压伸缩柱（91）与安装板（94）之间为固定连接，所述安装板（94）与加工设备本体（1）之间通过固定螺栓（95）形成活动连接，所述支撑底板（93）、安装板（94）均为合金材质制成。

7.根据权利要求1所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统，其特征在于：所述加工设备本体（1）的一侧外表面设置有伺服电机（10），所述夹具机构（3）的一侧设置有控制器（11），所述加工设备本体（1）与伺服电机（10）、控制器（11）之间均为电性连接。