[发明专利]一种可控制多进气管路组合进气装置及刻蚀方法

权利要求书

1.一种可控制多进气管路组合进气装置，进气装置设置于真空腔室（1）之上，其特征在于：包括总进气机构、分流进气机构和上腔盖（2）；上腔盖（2）盖合于真空腔室（1）之上，且上腔盖（2）上设有多个分支进气口（3），上腔盖（2）上设有中心进气口（8）；

总进气机构包括：气柜（4）、第一总进气管路（5）、第二总进气管路（6）、储气腔（7）、中心进气口（8）和进气隔膜阀（9）；第一总进气管路（5）一端连接气柜（4），第二总进气管路（6）一端连接于第一总进气管路（5）上，另一端连接于储气腔（7）上，进气隔膜阀（9）位于第二总进气管路（6）上；储气腔（7）设置于中心进气口（8）上；

分流进气机构包括：第一进气管（10）、第二进气管（11）、第一主进气管（14）；第一进气管（10）和第二进气管（11）的一端共同连接于第一主进气管（14）的一端，第一进气管（10）和第二进气管（11）的另一端通过分支进气口（3）与上腔盖（2）边缘连接，第一主进气管（14）的另一端与第一总进气管路（5）的另一端连接，第一进气管（10）、第二进气管（11）上设有隔膜阀（16）。

2.根据权利要求1所述的一种可控制多进气管路组合进气装置，其特征在于：分流进气机构还包括：第三进气管（12）、第四进气管（13）、第二主进气管（15），第三进气管（12）和第四进气管（13）的一端共同连接于第二主进气管（15）的一端，第三进气管（12）和第四进气管（13）的另一端通过分支进气口（3）与上腔盖（2）边缘连接，第二主进气管（15）的另一端与第一总进气管路（5）连接，第三进气管（12）、第四进气管（13）上设有隔膜阀（16）。

3.根据权利要求1所述的一种可控制多进气管路组合进气装置，其特征在于：所述进气隔膜阀（9）与进气阀为气动阀。

4.根据权利要求1所述的一种可控制多进气管路组合进气装置，其特征在于：上腔盖（2）上开设有圆槽，在圆槽之中设置有窗口（17）。

5.根据权利要求4所述的一种可控制多进气管路组合进气装置，其特征在于：还包括射频电容（18）和射频线圈（19），射频线圈（19）为螺纹盘旋结构，置于窗口（17）内，射频电容（18）连接于射频线圈（19）之上。

6.根据权利要求4所述的一种可控制多进气管路组合进气装置，其特征在于：所述窗口（17）的材质为陶瓷；所述第一总进气管路（5）、第二总进气管路（6）、第一进气管（10）、第二进气管（11）、第三进气管、（12）第四进气管（13）、第一主进气管（14）和第二主进气管（15）采用PU管。

7.根据权利要求1所述的一种可控制多进气管路组合进气装置，其特征在于：还包括电磁阀，所述隔膜阀（16）和进气隔膜阀（9）连接电磁阀，电磁阀由PLC控制开关；所述PLC连接至上位机。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种可控制多进气管路组合进气装置的刻蚀方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将晶圆（21）置于真空腔室（1）中，储气腔（7）的中心进气口（8）位于晶圆（21）圆心位置，晶圆（21）外周外平均分布多个分支进气口（3）；

步骤二：对晶圆（21）开始刻蚀；

步骤三：刻蚀后，测量晶圆（21）各个区域厚度；

步骤四：当中心厚度过大时，开启中心进气口（8），关闭所有分支进气口（3），当晶圆（21）圆心与边缘之间区域厚度过大时，开启中心进气口（8）以及对应侧的分支进气口（3），关闭其它分支进气口（3），当晶圆（21）边缘之间区域厚度过大时，关闭中心进气口（8），开启对应侧的分支进气口（3）；

步骤五：重复步骤二至四，直至各个区域厚度达标。