[发明专利]用于物镜组安装座的虚拟焦点尺寸检测的方法和装置

权利要求书

1.一种用于物镜组安装座的虚拟焦点尺寸检测的方法，其中，该方法包括：

根据测量到的物镜组安装座的机械加工和安装基准，通过三坐标设备构建三维正交基准面，并基于所述三维正交基准面建立笛卡尔坐标系；

通过所述三坐标设备测量所述物镜组安装座上的两个物镜安装孔的三维尺寸数据，根据所述三维尺寸数据，构建分别与所述两个物镜安装孔对应的两个轴线；

构建焦平面，其中，所述焦平面平行于所述三维正交基准面中的Top面；

判断所述两个轴线和所述焦平面之间形成的两个交点是否均位于以所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点为中心的虚拟小球内，若是，确定所述物镜组安装座合格。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法还包括：

若所述两个交点并非均位于所述虚拟小球内，在所述焦平面的公差范围内平移所述焦平面得到新的两个交点，判断所述新的两个交点是否位于以所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点为中心的虚拟小球内，若是，确定所述物镜组安装座合格，否则，再次执行上述平移操作以及判断操作，直至确定所述物镜组安装座合格或者所述焦平面在所述公差范围内移动结束。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述判断所述两个轴线和所述焦平面之间形成的两个交点是否位于以所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点为中心的虚拟小球内，若是，确定所述物镜组安装座合格，包括：

获得所述两个轴线和所述焦平面之间形成的两个交点的三维坐标；

将所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点作为坐标原点，并根据所述三维坐标计算所述两个交点中的每个交点与所述坐标原点之间的距离；

判断所述每个交点与所述坐标原点之间的距离是否均小于以所述坐标原点为中心的虚拟小球的半径，若是，确定所述物镜组安装座合格。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述构建焦平面，包括：

判断所述两个轴线与所述三维正交基准面之间的夹角是否符合设计要求，若符合，构建焦平面，否则，确定所述物镜组安装座不合格并结束检测。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，所述三坐标设备的测针为红宝石球且测量精度为亚微米量级。

6.一种用于物镜组安装座的虚拟焦点尺寸检测的装置，其中，该装置包括：

第一模块，用于根据测量到的物镜组安装座的机械加工和安装基准，通过三坐标设备构建三维正交基准面，并基于所述三维正交基准面建立笛卡尔坐标系；

第二模块，用于通过所述三坐标设备测量所述物镜组安装座上的两个物镜安装孔的三维尺寸数据，根据所述三维尺寸数据，构建分别与所述两个物镜安装孔对应的两个轴线；

第三模块，用于构建焦平面，其中，所述焦平面平行于所述三维正交基准面中的Top面；

第四模块，判断所述两个轴线和所述焦平面之间形成的两个交点是否均位于以所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点为中心的虚拟小球内，若是，确定所述物镜组安装座合格。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述装置还用于：

若所述两个交点并非均位于所述虚拟小球内，在所述焦平面的公差范围内平移所述焦平面得到新的两个交点，判断所述新的两个交点是否位于以所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点为中心的虚拟小球内，若是，确定所述物镜组安装座合格，否则，再次执行上述平移操作以及判断操作，直至确定所述物镜组安装座合格或者所述焦平面在所述公差范围内移动结束。

8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述第四模块用于：

获得所述两个轴线和所述焦平面之间形成的两个交点的三维坐标；

将所述焦平面和所述笛卡尔坐标系轴线相交的点作为坐标原点，并根据所述三维坐标计算所述两个交点中的每个交点与所述坐标原点之间的距离；

判断所述每个交点与所述坐标原点之间的距离是否均小于以所述坐标原点为中心的虚拟小球的半径，若是，确定所述物镜组安装座合格。