[发明专利]一种六氟化硫废气连续回收方法及回收装置

权利要求书

1.一种SF₆废气连续回收方法，其特征在于，应用于SF₆废气回收装置，所述的SF₆废气回收装置包括：回收接口(1)、第一阀门(2)、超声测距传感器(3)、缓冲袋(4)、第二阀门(5)、净化单元(6)、单向阀(7)、压缩机(8)、第一压力检测单元(9)、第三阀门(10)、内置回收瓶(11)、第四阀门(12)、出气接口(13)、第一快插公头(14)、第二快插公头(15)、第一快插母头(16)、第二快插母头(17)、第五阀门(18)、第二压力检测单元(19)、转接口(20)、第一扩容接口(21)、第二扩容接口(22)、第三扩容接口(23)；所述的回收接口(1)、第一阀门(2)、缓冲袋(4)、第二阀门(5)、净化单元(6)、单向阀(7)、压缩机(8)、第三阀门(10)、内置回收瓶(11)采用管道依次首尾串联密封连接；所述的超声测距传感器(3)安装在缓冲袋(4)的正上方，用于检测缓冲袋(4)的膨胀程度，从而根据膨胀程度来检测缓冲袋(4)内的气体量；所述的第一压力检测单元(9)通过管道密封安装在压缩机(8)与第三阀门(10)之间；所述的第四阀门(12)与出气接口(13)采用管道串联密封连接后，第四阀门(12)的非串联端采用管道密封连接在压缩机(8)与第三阀门(10)之间；所述的第一快插公头(14)通过管道密封连接在第三阀门(10)与内置回收瓶(11)之间；所述的第二快插公头(15)通过管道密封连接在单向阀(7)与压缩机(8)之间；所述的第一快插母头(16)、第五阀门(18)、第二快插母头(17)采用管道依次首尾串联密封连接，所述的第二压力检测单元(19)通过管道密封安装在第二快插母头(17)与第五阀门(18)之间；所述的第一快插母头(16)或第二快插母头(17)与第一快插公头(14)或第二快插公头(15)密封连接；所述的转接口(20)的进气端与出气接口(13)密封连接，所述的第一扩容接口(21)、第二扩容接口(22)、第三扩容接口(23)并联后的进气端与转接口(20)的出气端密封连接；

所述的连续回收方法包括：

S1、当需要回收的SF₆废气量小于内置回收瓶(11)的容积时：将回收装置的回收接口(1)接入SF₆气室，打开第一阀门(2)，SF₆废气从回收接口(1)流经第一阀门(2)进入缓冲袋(4)，超声测距传感器(3)用于检测缓冲袋(4)内的气体量；当超声测距传感器(3)检测到缓冲袋(4)内气体量达到上限阈值时，打开第二阀门(5)、第三阀门(10)并启动压缩机(8)，缓冲袋(4)内的废气流经第二阀门(5)、净化单元(6)、单向阀(7)经压缩机(8)增压后进入内置回收瓶(11)，此时缓冲袋(4)内处于同时进气抽气的状态，且抽气速度大于进气速度；当超声测距传感器(3)检测到缓冲袋(4)内气体量减少至下限阈值时，停止压缩机(8)、关闭第二阀门(5)、第三阀门(10)；循环上述过程，不断地将SF₆废气回收至内置回收瓶(11)中；

S2、当需要回收的SF₆废气量大于内置回收瓶(11)的容积时：将第一快插母头(16)接入第一快插公头(14)，第二快插母头(17)接入第二快插公头(15)，此时压缩机(8)的前端与内置回收瓶(11)之间接上第五阀门(18)和第二压力检测单元(19)；转接口(20)接入出气接口(13)，根据现场实际情况在第一扩容接口(21)、第二扩容接口(22)、第三扩容接口(23)处接上不同容积的钢瓶；与S1回收过程同理，废气先进入缓冲袋(4)内，超声测距传感器(3)检测缓冲袋(4)内气体量达到上限阈值时，压缩机(8)将缓冲袋(4)内废气增压充入内置回收瓶(11)中，第一压力检测单元(9)检测内置回收瓶(11)中气体压力数值，当检测到压力数值达到设定的压力上限时，关闭第三阀门(10)，打开第四阀门(12)，切换回收的气路，压缩机(8)将增压后的废气转而充入扩容接口外接的钢瓶中；

S3、内置回收瓶(11)中的SF₆废气转存：打开第五阀门(18)、第四阀门(12)，启动压缩机(8)，内置回收瓶(11)内气体流经第五阀门(18)经压缩机(8)增压后再流经第四阀门(12)、出气接口(13)转入扩容接口外接的钢瓶中，第二压力检测单元(19)检测内置回收瓶(11)内气体压力数值并以此判断出内置回收瓶(11)内真空度，当第二压力检测单元(19)检测到数值低于设定的压力数值时，停止压缩机(8)，关闭第五阀门(18)、第四阀门(12)。