[发明专利]基板干燥设备

权利要求书

1.一种基板干燥设备，其特征在于，包括：

箱体，包括至少两个干燥腔，至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置；

至少两个门体，活动连接于所述箱体，所述门体对应于所述干燥腔设置；以及

第一驱动机构，设置于所述箱体上，且位于所述箱体的第一侧，所述第一驱动机构连接于至少两个门体，所述第一驱动机构用于带动至少两个所述门体同步旋转以打开或者封闭所述干燥腔。

2.如权利要求1所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一驱动组件和第一传动组件，所述第一传动组件连接于所述第一驱动组件与一个所述门体之间，所述第一驱动组件运动时，通过所述第一传动组件带动一个所述门体旋转以打开或者封闭所述干燥腔。

3.如权利要求2所述的基板干燥设备，其特征在于，至少两个所述门体形成为一体。

4.如权利要求2所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一驱动组件为直线电机，所述第一传动组件为曲柄连杆，所述曲柄连杆一端固定连接于所述直线电机，另一端固定连接于所述门体，当所述直线电机做活塞运动时，通过所述曲柄连杆带动所述门体旋转。

5.如权利要求2所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一驱动组件为旋转电机，所述第一传动组件为第一转轴，所述第一转轴一端固定连接于所述旋转电机，另一端固定连接于所述门体，当所述旋转电机做旋转运动时，通过所述第一转轴带动所述门体旋转。

6.如权利要求2所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一驱动机构还包括第二传动组件，所述第二传动组件连接于所述第一传动组件与另一个所述门体之间，所述第一驱动组件运动时，带动所述第一传动组件运动，所述第一传动组件运动时，通过所述第二传动组件带动另一个所述门体旋转以打开或者封闭所述干燥腔。

7.如权利要求6所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第二传动组件包括第一传动件和第二转轴，所述第一传动件连接于所述第一传动组件与所述第二转轴之间，所述第二转轴连接于所述第一传动件与另一个所述门体之间，所述第一驱动组件运动时，带动所述第一传动组件运动，所述第一传动组件运动时，通过所述第一传动件带动所述第二转轴旋转，所述第二转轴带动另一个所述门体旋转以打开或者封闭所述干燥腔。

8.如权利要求7所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一传动组件与所述第二转轴的旋转方向相反。

9.如权利要求8所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一传动件包括第一啮合齿轮和第二啮合齿轮，所述第一啮合齿轮设置于所述第一传动组件上，所述第二啮合齿轮设置于所述第二转轴上，所述第一啮合齿轮和所述第二啮合齿轮相互啮合。

10.如权利要求7所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一传动组件与所述第二转轴的旋转方向相同。

11.如权利要求10所述的基板干燥设备，其特征在于，所述第一传动件包括第一转动件、第二转动件以及第一连接件，所述第一转动件固定设置于所述第一传动组件上，所述第二转动件固定设置于所述第二转轴上，所述第一连接件固定连接所述第一转动件与所述第二转动件，所述第一传动组件运动时，带动所述第一转动件旋转，所述第一转动件通过所述第一连接件带动所述第二转动件旋转，所述第二转动件带动所述第二转轴旋转，所述第二转轴带动另一个所述门体旋转以打开或者封闭所述干燥腔。

12.如权利要求1所述的基板干燥设备，其特征在于，所述基板干燥设备还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构设置于所述箱体上，所述第二驱动机构位于所述箱体的第二侧，所述第二侧与所述第一侧相对，所述第二驱动机构连接于两个门体，所述第二驱动机构用于带动两个所述门体同步旋转以打开或者封闭所述干燥腔。