[发明专利]一种低温泵再生系统及再生方法

权利要求书

1.一种低温泵再生系统，包括低温泵、氮气供给装置、抽水装置，其特征在于，

所述氮气供给装置与所述低温泵之间的第一管路上串联有加热装置；用于将流经第一管路的氮气加热至高于所述低温泵内水蒸气的饱和温度；

所述抽水装置通过第二管路连接所述低温泵。

2.根据权利要求1所述的低温泵再生系统，其特征在于，所述抽水装置包括干燥罐和机械泵。

3.根据权利要求2所述的低温泵再生系统，其特征在于，所述干燥罐设置有检测装置，用于检测气体中的水分含量。

4.根据权利要求1所述的低温泵再生系统，其特征在于，所述低温泵再生系统还包括若干阀门，所述若干阀门包括设置在所述氮气供给装置与所述加热装置之间的所述第一管路上的减压阀。

5.根据权利要求1所述的低温泵再生系统，其特征在于，所述加热装置与所述低温泵之间的第一管路上设置有流量计、压力计和温度计。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的低温泵再生系统，其特征在于，所述低温泵再生系统还包括回热装置，所述回热装置包括第一回热部和第二回热部，所述第一回热部串联在所述氮气供给装置与所述加热装置之间的第一管路上，所述第二回热部串联在所述抽水装置与所述低温泵之间的第二管路上；所述第一回热部与所述第二回热部通过导热连接件连接。

7.根据权利要求6所述的低温泵再生系统，其特征在于，所述低温泵再生系统还包括第三管路，所述第三管路并联在所述第二回热部两端的所述第二管路上，与所述第二管路配合形成循环管路。

8.一种低温泵再生方法，其特征在于，采用如权利要求1-7中任意一项所述的低温泵再生系统进行，所述低温泵再生方法包括：

步骤S1.将氮气加热至超过低温泵内水蒸气的饱和温度；

步骤S2.将氮气输入低温泵，使低温泵内的水蒸气始终保持过热状态，氮气与低温泵内部水蒸气进行热交换；

步骤S3.将带有过热水蒸气的氮气从低温泵排出。

9.根据权利要求8所述的低温泵再生方法，其特征在于，在所述步骤S1之前，还包括步骤S0.预热氮气。

10.根据权利要求8或9所述的低温泵再生方法，其特征在于，氮气排出所述低温泵后进入干燥罐，并除去氮气中的水分。

11.根据权利要求10所述的低温泵再生方法，其特征在于，所述干燥罐内部具有检测装置，用于检测氮气中的水分含量，根据所述检测装置的检测结果判断除水是否完成。

12.根据权利要求11所述的低温泵再生方法，其特征在于，所述检测装置的检测结果中的水分含量高于1ppm则重复步骤S1-步骤S3，继续除水。

13.根据权利要求8或9所述的低温泵再生方法，其特征在于，在步骤S1之前，调节氮气的压强；调节加热装置的加热功率。

14.根据权利要求13所述的低温泵再生方法，其特征在于，所述压强范围预设为大于或等于0.15atm；所述加热功率范围预设为0.2kW-0.5kW。