[发明专利]一种纳米颗粒复合磁芯膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110373226.6 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113192720B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 白飞明;邹想;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01F10/12 | 分类号： | H01F10/12;H01F10/18;H01F10/187;H01F41/18;H01F41/22;H01F41/30;H01F27/24 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 颗粒 复合 磁芯膜 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米颗粒复合磁芯膜，其特征在于，所述复合磁芯膜包括铁磁金属与X’O的复合颗粒，以及包覆于复合颗粒表面的XO非晶颗粒层，复合颗粒与非晶颗粒层形成核-壳结构；其中，铁磁金属的氧化物生成焓的绝对值＜X’的氧化物生成焓的绝对值＜X的氧化物生成焓的绝对值；所述复合磁芯膜中，铁磁金属的体积百分比为60％～80％，X’O的体积百分比为10％～30％，XO的体积百分比为10％～30％；
其中，所述铁磁金属为Fe、Co、Ni、FeCo、NiFe或CoNiFe，所述X’O为TiO2，所述XO为MgO或Al2O3。
2.一种如权利要求1所述纳米颗粒复合磁芯膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、以铁磁金属、X’和XO的复合靶材作为靶材，采用磁控溅射法制备复合膜，其中，溅射功率为3～6W/cm2，溅射气压为0.1～0.5Pa，诱导磁场大小为100～500Oe，方向为平行于薄膜平面，复合膜的厚度为100～500nm；
步骤2、将步骤1得到的复合膜在氧化气氛中进行退火处理，退火温度为150～350℃，时间为10min～5h，气氛为氧气或空气，退火完成后，自然冷却至室温，取出，即可得到所述复合磁芯膜。
3.根据权利要求2所述的纳米颗粒复合磁芯膜的制备方法，其特征在于，步骤2中，氧气气压或分压为10～10000Pa。
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