[发明专利]具有清洁功能的基板传送系统

权利要求书

1.一种具有清洁功能的基板传送系统，其特征在于，包括：

传送装置，用于承载和运送基板；

振动发生装置，设于所述传送装置上；以及

气体吹扫装置，设置于所述传送装置的行进方向的一侧，

其中，在所述传送装置运送所述基板时，所述振动发生装置振动所述基板，同时，所述气体吹扫装置吹出气体以清洁所述基板。

2.根据权利要求1所述基板传送系统，其特征在于，所述振动发生装置为超声波发生器和超声波换能器，所述超声波发生器和所述超声波换能器通过产生超声波来振动所述基板。

3.根据权利要求1所述基板传送系统，其特征在于，所述传送装置包括多个传送臂，并且在每一所述传送臂中设有一吸附组件，用以吸附所述基板。

4.根据权利要求3所述基板传送系统，其特征在于，所述吸附组件为真空吸盘。

5.根据权利要求3所述基板传送系统，其特征在于，在每一所述传送臂中设有一所述振动发生装置。

6.根据权利要求1所述基板传送系统，其特征在于，所述传送装置还包括一个或多个限位装置，用以对承载的所述基板进行限位。

7.根据权利要求1至6中任一项所述基板传送系统，其特征在于，所述气体吹扫装置包括吹气口，所述气体从所述吹气口吹向所述基板，并且所述吹气口的尺寸与所述基板的尺寸相匹配。

8.根据权利要求7所述基板传送系统，其特征在于，所述吹气口的形状为条形、梯形、波浪形中的一种。

9.根据权利要求1至6中任一项所述基板传送系统，其特征在于，所述基板包括多条线状隔堤，在相邻两条所述线状隔堤之间设有像素单元，所述气体沿所述线状隔堤吹扫所述基板。

10.根据权利要求1至6中任一项所述基板传送系统，其特征在于，所述气体为洁净空气或惰性气体。