[发明专利]一种高温炉真空密封炉膛结构

权利要求书

1.一种高温炉真空密封炉膛结构，包括炉盖(1)、炉壳(2)、炉底法兰(3)通过螺栓紧固、密封圈密封，且炉底法兰(3)安装有密封法兰(4)和工艺管(5)的真空密封炉膛，真空密封炉膛内部包括由所述工艺管(5)限定的工艺腔室，用于进行工艺片的工艺过程，真空密封炉膛内部还设有炉盖隔热屏组(6)、炉壳隔热屏组(7)、炉底隔热屏组(8)，所述炉盖隔热屏组、炉壳隔热屏组、炉底隔热屏组与所述工艺管(5)之间设有加热腔，所述加热腔内设置加热器(9)，

其特征在于，穿过所述炉盖(1)和炉盖隔热屏组(6)设置有加热器电极杆(10)，用于连接所述加热器和外部电源，所述加热器电极杆(10)近加热器段设有电极杆隔热屏组(11)，用于保护所述加热器电极杆的绝缘套(12)不受高温损害，所述电极杆隔热屏组(11)与所述炉盖隔热屏组(6)隔断设置，所述加热器电极杆(10)远加热器段设有绝缘套(12)。

2.根据权利要求1所述的一种高温炉真空密封炉膛结构，其特征在于，所述电极杆隔热屏组、炉盖隔热屏组、炉壳隔热屏组、炉底隔热屏组均由等间距层叠的隔热屏组成，所述电极杆隔热屏组未裸露于所述加热腔部分的每层隔热屏与所述炉盖隔热屏的每层隔热屏之间同一水平面隔断设置，所述电极杆隔热屏之间贴近所述加热器电极杆处设有电极杆隔热屏隔套(13)，用于支撑所述电极杆隔热屏组中的每层隔热屏。

3.根据权利要求2所述的一种高温炉真空密封炉膛结构，其特征在于，所述炉盖隔热屏组、炉壳隔热屏组、炉底隔热屏组的隔热屏由内向外材料依次为钨、钼、不锈钢，所述电极杆隔热屏组与所述炉盖隔热屏组同一水平高度的隔热屏材料相同。

4.根据权利要求1所述的一种高温炉真空密封炉膛结构，其特征在于，所述加热器通过加热器电极杆吊装于所述加热腔内，用于给所述工艺腔室提供热源，所述加热器上部通过开槽方式三等分开，所述加热器底部为完整圆形筒状，所述加热器上部三等分处中间与所述加热器电极杆电连接。

5.根据权利要求1所述的一种高温炉真空密封炉膛结构，其特征在于，所述加热器电极杆的炉外部分套设电极绝缘水冷密封套(14)，所述加热器电极杆与所述电极绝缘水冷密封套通过密封圈密封，所述电极绝缘水冷密封套与所述炉盖固结，所述加热器电极杆炉外端部还设置接线组件(15)，用于外接电源。

6.根据权利要求1所述的一种高温炉真空密封炉膛结构，其特征在于，所述炉壳外部设置热偶密封座(16)，测温热偶(17)通过热偶密封圈套装于所述热偶密封座(16)内，并穿过所述炉壳隔热屏组至所述加热腔。