[发明专利]一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及方法

权利要求书

1.一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线，其特征在于，包括:

镀膜室，具有相对设置的前开口和后开口，所述前开口具有可开闭的前开门，所述后开口具有可开闭的后开门；所述镀膜室的底板上具有承载轨道；

前输送轨道，设置在所述前开口的上游一侧，所述前输送轨道具有第一机台和第一移动轨道，所述第一移动轨道可移动地设置在所述第一机台上，所述第一移动轨道用于可分离地对接所述承载轨道的上游端；

后输送轨道，设置在所述后开口的下游一侧，所述后输送轨道具有第二机台和第二移动轨道，所述第二移动轨道可移动地设置在所述第二机台上，所述第二移动轨道用于可分离地对接所述承载轨道的下游端；

电动移动板车，具有底部支撑轮、基础台架、驱动组件和升降板，所述底部支撑轮可移动地行进在所述第一移动轨道、承载轨道和第二移动轨道上，所述驱动组件用于带动所述升降板在竖直方向上进行升降运动；

镀膜架子，具有依次连接的支撑脚、平板部和挂架，所述升降板用于通过所述平板部带动所述镀膜架子在所述第一移动轨道、承载轨道和第二移动轨道之间进行移动。

2.根据权利要求1所述的用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线，其特征在于，

所述前输送轨道的所述第一机台上具有第一滑动轨道，所述第一移动轨道上具有第一齿条，所述第一滑动轨道上具有第一驱动齿轮，所述第一驱动齿轮与所述第一齿条啮合，所述第一驱动齿轮与驱动电机连接，所述驱动电机用于驱动而使得所述第一移动轨道在所述第一滑动轨道内进行滑动；

所述后输送轨道的所述第二机台上具有第二滑动轨道，所述第二移动轨道上具有第二齿条，所述第二滑动轨道上具有第二驱动齿轮，所述第二驱动齿轮与所述第二齿条啮合，所述第二驱动齿轮与驱动电机连接，所述驱动电机用于驱动而使得所述第二移动轨道在所述第二滑动轨道内进行滑动。

3.根据权利要求1所述的用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线，其特征在于，

所述电动移动板车还包括动力电机和传动轴杆，所述传动轴杆的两端分别与所述底部支撑轮连接；

所述基础台架为中空框体结构，所述中空框体结构内部设置有推拉气缸、连接杆、翻转带动体、第一带动杆、第二带动杆、第一安装板、第二安装板、第一曲柄、第二曲柄、限位杆、第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和第二支撑杆设置在所述中空框体结构的内壁上，所述升降板底部通过两个第一安装板连接所述第一带动杆，并且所述升降板底部通过两个第二安装板连接所述第二带动杆，所述第一带动杆的两端通过第一曲柄分别与所述第一支撑杆连接，所述第二带动杆的两端分别通过第二曲柄分别与所述第二支撑杆连接，所述限位杆设置在所述中空框体结构的内壁上并且所述限位杆设在所述第一曲柄的相邻一侧。

4.根据权利要求1所述的用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线，其特征在于，

所述挂架具有中心轴杆、上固定盘、下固定盘和挂设单元，所述中心轴杆穿过所述上固定盘和下固定盘的中心位置，所述上固定盘上固定孔，所述下固定盘具有下固定孔；所述挂设单元具有上固定杆、加强杆、主轴套筒、滑动杆、多个分散片体、悬挂杆、下固定杆，多个所述分散片体间隔均匀地布置在所述主轴套筒外壁上，所述分散片体通过加强杆而与所述上固定杆和所述下固定杆连接，所述上固定杆可拆卸地固定在所述上固定孔上，所述下固定杆可拆卸地固定在所述下固定孔上，多个所述悬挂杆设置在所述分散片体上。

5.根据权利要求4所述的用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线，其特征在于，

滑动杆的外壁上具有间隔布置的卡合凸起，卡合凸起为连续弯曲斜面结构，其具有相对高位和相对低位，在相对高位的时候则能够驱动悬挂杆在通孔结构内向外端方向滑动，而在相对低位的时候则通过弹簧结构的带动作用而使得悬挂杆在通孔结构内向内端方向滑动；

分散片体上具有通孔结构，通孔结构内具有悬挂杆、弹簧结构，弹簧结构的连接在悬挂杆和通孔结构的内壁上，悬挂杆的外端为悬挂部，悬挂杆的内端抵触在滑动杆的卡合凸起上；在悬挂杆与卡合凸起接触的一端具有旋转滚轮。