[发明专利]一种二维沟道材料Ga2 有效
申请号: | 202110355623.0 | 申请日: | 2021-04-01 |
公开(公告)号: | CN113097292B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 萨百晟;蔡书畅;熊锐;温翠莲;沈笑天 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | H01L29/10 | 分类号: | H01L29/10;H01L29/26;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 吴姗姗;蔡学俊 |
地址: | 350002 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二维 沟道 材料 ga base sub | ||
1.一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:将硒化镓多晶粉末利用液相剥离法得到片层硒化镓样品,随后将片层硒化镓样品硫化处理获得Ga2SSe材料;具体包括以下步骤:
步骤(1)取得纯度大于99.95%的硒化镓多晶粉末或单晶块体加入到密封罐中;
步骤(2)密封罐中以1:(80-100)的固液质量比例加入极性溶剂经过充分混合,形成溶液体系;
步骤(3)从密封罐的下部喷嘴往溶液通入氩气,进行1小时鼓泡处理去除溶液中的氧气;
步骤(4)在超声清洗机中加入冰块,将密封罐放置到超声波清洗机中进行超声处理,随后得到片层硒化镓分散液;
步骤(5)将得到的片层硒化镓分散液置于离心管中,进行离心分离,离心后取得管内三分之二的上清液,重复上述离心过程3次,真空干燥得到干净的片层硒化镓样品;
步骤(6)将片层硒化镓样品放置在管式炉加热区的中心加热到800 ℃,将硫粉加热到150 ℃,并通过氩气将硫气运送到加热区的中心,硫化,最后自然冷却至室温;
步骤(7)将硫化后的样品取出,分别用蒸馏水以及无水乙醇洗涤去除杂质;
步骤(8)将步骤(7)所得到的物质真空干燥,得到Ga2SSe材料。
2.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(2)所述极性溶剂具体为N,N-二甲基乙酰胺或乙醇和水的混合溶剂。
3.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(3 )氩气流量为100 sccm,1sccm = 1ml/min。
4.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(4)所述超声处理为110W下超声处理12小时。
5.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(5)所述离心分离具体为以3000 rpm/min的转速离心1小时进行分离。
6.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(5)所述真空干燥具体为50 ℃的真空干燥8小时。
7.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(6)所述硫化时间为30 ~ 60 min。
8.根据权利要求1所述的一种二维沟道材料Ga2SSe的制备方法,其特征在于:步骤(8)所述真空干燥为50 ~ 70 ℃的真空干燥8小时。
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