[发明专利]一种能够预防Bump虚焊的助焊剂盘、蘸取系统及方法在审
申请号: | 202110354584.2 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113097109A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 徐召明 | 申请(专利权)人: | 华天科技(南京)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/60 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李鹏威 |
地址: | 211805 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 能够 预防 bump 焊剂 系统 方法 | ||
本发明公开了一种能够预防Bump虚焊的助焊剂盘、蘸取系统及方法;所述一种能够预防Bump虚焊的助焊剂盘,包括:助焊剂盘底座和刮环;助焊剂盘底座上表面凹陷形成有助焊剂槽;助焊剂槽中具有助焊剂;刮环的静止位置位于助焊剂盘底座上表面的助焊剂槽的一侧;刮环能够在助焊剂盘底座上往复运动以搅拌助焊剂槽中的助焊剂;助焊剂槽远离刮环静止位置的一侧内壁设置为斜面。本发明能够有效解决现有技术中当贴装吸嘴发生漏真空,蘸取助焊剂参数不当或者贴装速度过快时,芯片掉入助焊剂盘中,使得助焊剂刮环来回搅拌助焊剂,刮环会将芯片磨碎成硅渣,进而影响芯片Bump蘸取助焊剂,导致bump焊接虚焊的技术问题。
技术领域
本发明属于封装设备技术领域,特别涉及一种能够改善预防Bump虚焊的助焊剂盘及方法。
背景技术
对Flipchip芯片(倒装芯片)尺寸小于2.0×2.0mm,一般需要速度较快的设备贴装,才能完成每天的产能。Flipchip芯片Bump,即在芯片铝焊盘上制作的凸点,贴装前需要芯片Bump蘸取助焊剂,助焊剂盘盛放助焊剂。如果贴装吸嘴漏真空、蘸取助焊剂参数不当、贴装速度过快,芯片有掉入助焊剂盘的风险。
助焊剂刮环来回搅拌助焊剂,刮环会将芯片磨碎成硅渣,硅渣会影响芯片Bump蘸取助焊剂,导致bump焊接虚焊。
此外,助焊剂盘掉芯异常设备和人员不易监测,往往会导致大量产品报废。
发明内容
针对上述技术问题,本发明提供一种能够预防Bump虚焊的助焊剂盘、蘸取系统及方法,用于解决现有技术中当贴装吸嘴发生漏真空,蘸取助焊剂参数不当或者贴装速度过快时,芯片掉入助焊剂盘中,使得助焊剂刮环来回搅拌助焊剂,刮环会将芯片磨碎成硅渣,进而影响Bump蘸取助焊剂,导致bump焊接虚焊的技术问题。
为了实现上述目的,本发明的技术方案具体如下:
第一方面,本发明提供一种能够预防Bump虚焊的助焊剂盘,包括:
助焊剂盘底座和刮环;
助焊剂盘底座上表面凹陷形成有助焊剂槽;助焊剂槽中具有助焊剂;
刮环的静止位置位于助焊剂盘底座上表面的助焊剂槽的一侧;刮环能够在助焊剂盘底座上往复运动以搅拌助焊剂槽中的助焊剂;
助焊剂槽远离刮环静止位置的一侧内壁设置为斜面。
本发明进一步的改进在于:所述助焊剂槽为矩形;矩形的助焊剂槽的四壁均设置为斜面。
本发明进一步的改进在于:所述助焊剂槽为圆形;圆形的助焊剂槽的内壁均设置为斜面。
本发明进一步的改进在于:所述斜面与水平面的夹角小于等于45°。
本发明进一步的改进在于:所述斜面与水平面的夹角小于等于30°。
第二发明,本发明提供一种能够预防Bump虚焊的助焊剂蘸取系统,包括一种能够预防Bump虚焊的助焊剂盘芯片抓取机构和芯片;
芯片抓取机构包括贴片吸嘴,贴片吸嘴通过负压吸取芯片,用于在助焊剂槽中蘸取助焊剂。
本发明进一步的改进在于:所述芯片的尺寸小于2.0×2.0mm。
第三发明,本发明提供一种能够预防Bump虚焊的方法,基所述的一种能够预防Bump虚焊的助焊剂蘸取系统,包括以下步骤:
贴片吸嘴抓取芯片在助焊剂槽中蘸取助焊剂;
如果芯片掉到助焊剂槽内,刮环往复运动过程中,将芯片从助焊剂槽的斜面推出助焊剂槽外。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造