[发明专利]一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法

权利要求书

1.一种CGH补偿器设计方法，其特征在于：

S1、设计主区域，在光学设计软件中输入待检镜的参数，将环形主区域面形设置为泽尼克相位，通过改变泽尼克系数及距离参数，进行优化，使得波前为零；

S2、设计对准区域，使得光线入射到所述对准区域上，被所述CGH补偿器反射回来，以此来判断干涉仪和所述CGH补偿器的位置关系，改变所述对准区域的泽尼克系数，优化使得波前为零；

S3、设计猫眼区域，所述猫眼区域分为环形猫眼区域和中心猫眼区域两部分，根据所述待检镜的参数、所述环形主区域和所述对准区域的参数，进行双光路光线追迹，使通过所述环形猫眼区域的光线透射到所述待检镜上后，经位于光轴中心位置的所述中心猫眼区域对称返回，改变泽尼克系数，优化设计使得波前为零；

所述对准区域位于外环带，用于对准所述CGH补偿器和所述干涉仪；

所述猫眼区域位于内环带，用于检测所述CGH补偿器与所述待检镜的距离偏差；

所述环形主区域位于所述环形猫眼区域和所述中心猫眼区域之间，用于检测所述待检镜的面形误差及离焦量。

2.一种非球面反射镜曲率半径检测装置，采用干涉仪对中心带孔的非球面待检镜进行检测，其特征在于，包括标准镜和如权利要求1设计的CGH补偿器。

3.根据权利要求2所述的非球面反射镜曲率半径检测装置，其特征在于，所述标准镜放置在所述干涉仪和所述CGH补偿器之间，所述待检镜放置在所述CGH补偿器的另一侧；

所述干涉仪发出的光线经过所述标准镜后出射，出射光束的焦点位置处放置滤波器，经过所述滤波器的光入射到所述CGH补偿器上，根据所述CGH补偿器不同的区域，所述光束反射回所述干涉仪或经过所述CGH补偿器透射后入射到所述待检镜上，通过所述环形主区域检测所述待检镜面形及曲率半径误差，通过分析得到所述待检镜的面形误差及离焦量。

4.根据权利要求2所述的非球面反射镜曲率半径检测装置，其特征在于，还包括用于分别调节使所述干涉仪、所述CGH补偿器和所述待检镜同轴的干涉仪调整机构、CGH调整机构和待检镜调整机构。

5.一种非球面反射镜曲率半径检测方法，其特征在于，包括：

S1、对准CGH补偿器和干涉仪：安装干涉仪的标准镜，并将所述标准镜与所述干涉仪光源调至共光路，将小孔滤波器置于所述干涉仪光束焦点位置；所述CGH补偿器根据权利要求1设计得到，调整所述CGH补偿器相对于所述干涉仪的位置，使所述对准区域的干涉图为零条纹；

S2、对准CGH补偿器和待检镜：保持所述干涉仪与所述CGH补偿器相对位置不变，调整所述待检镜位置，使通过所述环形猫眼区域的光束达到所述待检镜上，经所述中心猫眼区域对称返回；

S3、计算获取待检镜的曲率半径。

6.根据权利要求5所述的一种非球面反射镜曲率半径检测方法，其特征在于，能够对凸非球面或者凹非球面的非球面待检镜进行检测。