[发明专利]对准标记的设定方法和加工装置

权利要求书

1.一种对准标记的设定方法，在对正面侧形成有多个标记的晶片进行加工的加工装置中，将包含操作员所指定的1个以上的标记的区域设定为对准标记，其特征在于，

该对准标记的设定方法具有如下的步骤：

拍摄步骤，由拍摄单元对形成在该晶片上的该1个以上的标记进行拍摄；

信息获取步骤，针对通过该拍摄步骤而拍摄的该1个以上的标记，获取构成该1个以上的标记的各自的外接矩形的信息；

框线调整步骤，在该信息获取步骤之后，根据已指定了该1个以上的标记中的1个标记或多个标记的情况，使该1个标记或该多个标记整体的该外接矩形的中心向在该加工装置中要设定为对准标记时所使用的四边形的框线的中心移动，按照将该外接矩形收纳在该框线内并将该外接矩形与该框线的间隔调整为预先确定的距离的方式自动调整该框线相对于该外接矩形的位置和大小；以及

登记步骤，将大小已被调整的该框线的内侧的包含该1个标记或该多个标记的区域作为对准标记而登记在该加工装置中。

2.一种加工装置，其能够在对正面侧形成有多个标记的晶片进行加工时将包含操作员所指定的1个以上的标记的区域设定为对准标记，其特征在于，

该加工装置具有：

卡盘工作台，其对该晶片进行吸引保持；

拍摄单元，其具有拍摄元件，该拍摄单元配置在该卡盘工作台的上方，并且对吸引保持在该卡盘工作台上的该晶片进行拍摄；

显示装置，其显示由该拍摄单元获取的图像；

控制单元，其具有处理器，该控制单元对该卡盘工作台、该拍摄单元以及该显示装置的动作进行控制；以及

输入装置，其将操作员的指示向该控制单元输入，

该控制单元包含：

信息获取部，其针对通过该拍摄单元拍摄的该1个以上的标记，获取构成该1个以上的标记的各自的外接矩形的信息；

框线调整部，其根据借助该输入装置指定了该1个以上的标记中的1个标记或多个标记的情况，使该1个标记或该多个标记整体的该外接矩形的中心向在该加工装置中要设定为对准标记时所使用的四边形的框线的中心移动，按照将该外接矩形收纳在该框线内并将该外接矩形与该框线的间隔调整为预先确定的距离的方式自动调整该框线相对于该外接矩形的位置和大小；以及

对准标记登记部，其将大小已被调整的该框线的内侧的包含该1个标记或该多个标记的区域作为对准标记进行登记。