[发明专利]载物台装置

说明书

本发明提供一种能够实现载物台装置的高精度化的技术。载物台装置具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动X轴驱动部或第二移动体沿Y轴方向移动；以及限制单元，其并不限制X轴驱动部与第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。

本申请主张基于2020年3月31日申请的日本专利申请第2020-062981号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种载物台装置。

背景技术

已知有一种用于定位对象物的载物台装置。以往，提出有一种载物台装置，其具备：第一移动体；驱动体，驱动第一移动体沿X轴方向移动；以及第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动(例如，专利文献1)。

专利文献1：日本特开2009-101427号公报

在以往的载物台装置中，X轴驱动部被第二移动体支承。因此，X轴驱动部驱动第一移动体时的反作用力会传递到第二移动体。

但是，要求将载物台装置使用于更大型的对象物的定位上。此时，需要使载物台装置大型化，随之，X轴驱动部也会大型化，X轴驱动部驱动第一移动体时的反作用力也会变大。若将以往的载物台装置直接大型化，则会导致较大的反作用力传递到第二移动体。这会诱发由第二移动体的结构部件引起的滞后(hysteresis)及振动。即，妨碍高精度化。

并且，载物台装置有时使用于半导体器件的制造。由于半导体器件的设计规则的微细化或重叠或者层叠的需求，要求使制造中使用的载物台装置进一步高精度化。

总之，要求使载物台装置高精度化。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，其一种实施方式的示例性目的之一在于提供一种能够实现载物台装置的高精度化的技术。

为了解决上述问题，本发明的一种实施方式的载物台装置具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动X轴驱动部或第二移动体沿Y轴方向驱动；以及限制单元，其并不限制X轴驱动部与第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。

另外，以上构成要件的任意组合或将本发明的构成要件和表述在方法、装置、系统等之间相互置换的方式也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，能够实现载物台装置的高精度化。

附图说明

图1是表示实施方式所涉及的载物台装置的图。

图2中(a)(c)是表示图1的载物台装置的图。

图3是沿图2中(a)的A-A线剖切的剖视图。

图4是表示图1的导梁(guide beam)的一端及其周边的立体图。

图5是用于说明限制单元的一例的图。

图6是用于说明限制单元的另一例的图。

图7是用于说明限制单元的又一例的图。

图8是用于说明限制单元的又一例的图。

图中：12-第一移动体，14-第二移动体，16-第一X轴驱动部，18-第二X轴驱动部，20-第一Y轴驱动部，22-第二Y轴驱动部，88-限制单元，100-载物台装置。

具体实施方式