[发明专利]一种用于检测苯胺的电化学传感器电极材料的制备方法

权利要求书

1.一种用于检测苯胺的电化学传感器电极材料的制备方法，有以下步骤：

1)衬底处理：以P型掺杂单晶硅片为衬底，通过手动研磨法或超声震荡法，利用微米金刚石粉对硅片表面进行处理，以增强金刚石在衬底表面的成核密度，处理后，将硅片利用酒精冲洗干净，去除表面残留粉末；所述的手动研磨法的步骤是将金刚石微米粉置于硅片表面，利用硬质合金块压住粉末，并手动进行研磨，直至硅片表面出现均匀细密划痕；所述的超声震荡法的步骤是将金刚石微米粉分散在丙酮溶剂中，再将硅片置于所得到的丙酮分散液中超声震荡30～120分钟；

2)掺杂金刚石膜生长：将步骤1)处理后的单晶硅片按需求进行切割，利用微波等离子体化学气相沉积方法沉积硼、氮共掺杂金刚石薄膜，得到用于检测苯胺的电化学传感器电极材料；沉积过程中衬底温度为850～900℃，气体压强为7～10kPa，沉积时间5～8小时；沉积所用气体为体积比1～3:100的氢气和甲烷，掺杂所用氮源为高纯氮气或氢气稀释的氮气，生长气氛中氮气与甲烷含量比为1:1；掺杂所用硼源为硼酸三甲酯，利用氢气作为载气将硼源引入到沉积气氛中，通过控制载气流量实现对气氛中硼源含量的控制，生长过程中，载气流量与氮气流量比为1:1；

检测苯胺浓度所依据的关系为阴极峰值电流的自然对数与苯胺浓度的自然对数呈线性关系。

2.根据权利要求1所述的一种用于检测苯胺的电化学传感器电极材料的制备方法，其特征在于，步骤1)中处理硅片衬底所使用金刚石粉粒径为0.5～1微米。

3.根据权利要求1所述的一种用于检测苯胺的电化学传感器电极材料的制备方法，其特征在于，在步骤2)中，所述的硼酸三甲酯的温度控制在25℃，氢气载气的压强维持在0.1MPa。