[发明专利]光扫描器件在审
申请号: | 202110344635.3 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113009687A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 苏州溢博伦光电仪器有限公司 |
主分类号: | G02B26/12 | 分类号: | G02B26/12;G02B26/10 |
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地址: | 215163 江苏省苏州市高新区科技城*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 器件 | ||
1.一种光扫描器件,其特征在于:它包括外部同步信号接口,锁相电路,电动机伺服电路,电动机,多面镜,外部同步信号接口的输出端与锁相电路的输入端连接,锁相电路的输出端与电动机伺服电路的输出端连接,电动机伺服电路的输出端与电动机的输入端连接,电动机的输出端与多面镜的输入端连接,外部同步信号接口接收光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号,通过锁相电路转换成与光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号同相位的脉冲信号,再通过电动机伺服电路实现电动机的旋转运动,从而带动多面镜转动实现二维高速扫描;
所述的外部同步信号接口用于将光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号输入锁相电路;
所述的锁相电路为基于商用锁相环芯片的信号处理电路,用于产生与外部同步信号接口提供的光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号同相位的脉冲信号,由于市场上已有商用锁相环芯片,此处工作原理不赘述;
所述的电动机伺服电路为基于商用数字电动机驱动芯片的伺服电路,用于放大锁相电路产生的脉冲信号,并提供足够大的驱动电流,由于市场上已有商用电动机驱动芯片,此处工作原理不赘述;
所述的电动机为商用伺服电动机,电动机转子转速受电动机伺服电路的输出信号控制,具有机电时间常数小、线性度高、始动电压等特性,由于市场上已有商用伺服电动机,此处工作原理不赘述;
所述的多面镜为轴对称多面体,中心开有用于电动机转子的定位孔,多面镜周边安装有多片反射镜,反射镜的尺寸,数量,以及相邻反射镜之间的夹角取决于光学扫描显微镜中扫描的速度和行数,在下文中详述。
2.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的锁相电路为数字锁相电路。
3.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的电动机伺服电路为数字伺服电路。
4.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的多面镜的形状为旋转对称形状。
5.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的电动机的转速为100rpm至1000000rpm。
6.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的电动机与多面镜之间采用金属夹具固定。
7.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的电动机与多面镜之间采用金属夹具固定。
8.如权利要求1所述的一种光扫描器件,其特征在于:所述的多面镜上相邻两片反射镜之间的轴向夹角为0度至90度。
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