[发明专利]一种基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构及其制作方法

权利要求书

1.一种基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构，其特征在于，包括：

均热板，所述均热板包括上板体和下板体，所述上板体和下板体之间设有腔室；

复合吸液芯，所述上板体底侧面和所述下板体内侧面均设有若干槽道，所述上板体和下板体上的所述槽道均并排设置，所述均热板内部于所述上板体和所述下板体的内侧均覆盖有丝网吸液芯或烧结粉末板吸液芯，所述丝网吸液芯或烧结粉末板吸液芯与相邻的若干所述槽道构成复合吸液芯；以及

工质流体，所述均热板的所述腔室内封存有所述工质流体。

2.根据权利要求1所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构，其特征在于，所述丝网吸液芯或烧结粉末板吸液芯材质为铜、铁或钛。

3.根据权利要求1所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构，其特征在于，所述均热板根据所需传热形状设计为四边形、圆形或梯形，所述均热板槽道横截面形状为梯形或V型或倒Ω型。

4.根据权利要求1所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构，其特征在于，所述上板体和下板体上的所述槽道为直槽或弯槽，所述上板体和下板体上的所述槽道等间隔分布或渐变分布。

5.根据权利要求1所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构，其特征在于，所述工质流体为去离子水、氨、甲醇、氟利昂、丙酮中的一种或其中几种混合而成的与陶瓷材料相容的工质。

6.一种基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：制作复合吸液芯石蜡模，通过模具用石蜡浇注出腔室蜡模，于所述腔室蜡模上下两侧分别布置吸液芯,所述吸液芯为丝网吸液芯或烧结粉末板吸液芯，于两所述吸液芯外侧分别布置槽道反形状，固化后得到复合吸液芯石蜡模；

步骤2：通过流延法用陶瓷浆料刮出均热板下板体底部，放入步骤1所制得的复合吸液芯石蜡模，再刮均热板上板体，使复合吸液芯石蜡模封闭于上板体与下板体之间，待陶瓷浆料凝固后，形成陶瓷均热板本体；

步骤3：板体烧结，于所述陶瓷均热板本体的表面设置与所述腔室相通的工质流体注入口，将所述陶瓷均热板本体进行烧结使石蜡气化形成一体化陶瓷均热板；

步骤4：腔室灌注，通过所述工质流体注入口对一体化陶瓷均热板进行抽真空并注入工质流体，密封所述工质流体注入口即得。

7.根据权利要求6所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构的制作方法，其特征在于，步骤3中，将所述陶瓷均热板本体采用低温梯度烧结或高温梯度烧结工艺一体烧结成型。

8.根据权利要求6所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构的制作方法，其特征在于，所述陶瓷浆料为氧化铝、氮化铝、氮化硅及氮化硼中的一种或由其中几种混合而成。

9.根据权利要求6所述的基于流延法带有复合吸液芯的陶瓷均热板结构的制作方法，其特征在于，步骤1中，所述槽道反形状为由石蜡加工而成或由金属粉末压制而成。