[发明专利]一种关键批次产品的调度实现方法及系统

说明书

本申请公开了一种关键批次产品的调度实现方法及装置，该方法包括：调用关键批次预约模型对关键批次产品的输入信息进行预约计算，得到对应的预留清单；根据所述预约清单，调用所述各预约站点的预约设备在对应的预约时间进行所述关键批次产品的生产管控。通过实施本申请，能够解决现有技术中存在的等待时间较长、影响产品生产效率、出货时间和产品良率等问题。

技术领域

本申请涉及半导体生产制造管理技术领域，特别是涉及一种关键批次产品的调度实现方法及系统。

背景技术

目前，半导体生产制造中关键批次产品的生产调度主要是通过预估产品的达到时间和机台端口的下次空闲时间进行对比，判断是否需要预留机台端口给关键批次产品作业。但上述方案并未充分考虑机台的作业模式，机台有多个端口且为串行作业，产品需要按照预约时间逐个作业，关键批次产品仍需要等待前顺位产品完成后才能正式开始作业，中间会产生大量的等待时间，进而影响产品的生产效率和出货时间。

此外，现有产品调度方案并未考虑工艺许容时间区段限定产生的影响，可能会导致产品出现废品或废片的情况，影响产品良率。

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足，本申请之目的在于提供一种关键批次产品的调度实现方法及装置，能够解决现有产品生产调度方案中存在的等待时间较长、影响产品生产效率、出货时间和产品良率等问题。

为达上述及其它目的，本申请提出一种关键批次产品的调度实现方法，包括如下步骤：

调用关键批次预约模型对关键批次产品的输入信息进行预约计算，得到对应的预留清单，所述预留清单包括生产所述关键批次产品所用的各预约站点的预约设备及预约时间，所述预约设备为预约机台或所述预约机台下的腔体；

根据所述预约清单，调用所述各预约站点的预约设备在对应的预约时间进行所述关键批次产品的生产管控。

可选的，所述调用关键批次预约模型对关键批次产品的输入信息进行预约计算，得到对应的预留清单包括：

根据所述关键批次产品的工艺限定和许容时间区段限定，确定生产所述关键批次产品可用的各预约站点及每个所述预约站点的待预约设备；

根据所述关键批次产品在各所述待预约设备的作业能力，估算所述关键批次产品到达各所述待预约设备的到达时间；

根据各预约站点的各待预约设备的当前作业情况及作业能力，估算各所述待预约设备的作业完成时间；

将所述关键批次产品到达各预约站点的待预约设备中不能完成一卡产品作业的设备选择为候选设备，从所述候选设备中选取所述到达时间与所述作业完成时间之间绝对值最小的设备，作为各预约站点的预约设备。

可选的，所述根据所述关键批次产品的工艺限定和许容时间区段限定，确定生产所述关键批次产品可用的各预约站点及每个所述预约站点的待预约设备包括：

获取第i站点的工艺限定和许容时间区段；

根据第i站点的工艺限定，判断所述第i站点中是否存在可作业机台；

若是，则判断所述第i站点是否为许容时间区段的起始站点；

若是，则判断所述许容时间区段对应的下游设备产能是否达标；

若达标或者所述第i站点不为起始站点，则判断所述第i站点是否小于生产所述关键批次产品所用的最大站点数n；

若是，则更新i＝i+1，并重复执行上述获取第i站点的工艺限定和许容时间区段的步骤；

若所述第i站点中不存在可作业平台、所述下游设备产能不达标或者所述第i站点不小于n，则将前i-1个站点作为生产所述关键批次产品可用的各预约站点，并将各预约站点中的可作业机台作为待预约机台。