[发明专利]一种高稳定性的STM测量装置

权利要求书

1.一种高稳定性的STM测量装置，包含安装座、电动缸、探针、连接件、控制系统、测量回路；

所述安装座包含一上一下对应设置的电动缸安装座和探针安装座；

所述电动缸设置于所述电动缸安装座的下侧；

其特征在于：

所述探针通过压电陶瓷设置于所述探针安装座并且所述探针朝向所述电动缸安装座；

所述连接件包含固接于所述电动缸安装座的直线轴承，所述电动缸的输出轴通过连接座连接有连接杆，所述连接杆穿过所述直线轴承，所述连接杆的末端设置有基底安装座，所述连接杆包含外套筒和内套轴，所述内套轴由若干分轴组成，从下往上的所述分轴的直径依次减小，所述分轴在其底端的两侧分别设置有凸起部，所述外套筒对应所述凸起部的位置对应填充有阻尼块；

所述测量回路连接于所述探针和所述基底安装座之间；

所述控制系统电连接所述压电陶瓷，用于输出电压并驱动所述压电陶瓷产生形变从而带动探针上下运动。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性的STM测量装置，其特征在于：所述凸起部为弧形结构。

3.根据权利要求2所述的一种高稳定性的STM测量装置，其特征在于：两侧的所述凸起部的波峰上下错开设置。

4.根据权利要求1所述的一种高稳定性的STM测量装置，其特征在于：所述探针安装座内设置有两个互相吸合的磁铁，其中一个磁铁吸合至所述探针安装座，另一个磁铁粘接所述探针。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定性的STM测量装置，其特征在于：所述电动缸的输出轴通过连接座连接所述内套轴。

6.根据权利要求1所述的一种高稳定性的STM测量装置，其特征在于：所述安装座在其底部设置有防震板。