[发明专利]一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法

说明书

本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域，尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。本发明包括底板，所述底板上表面固定有检测仓，所述底板上表面固定有移出装置，所述移出装置顶部固定有固定装置，所述固定装置内壁夹持有气瓶，所述移出装置一端固定有密封门，所述检测仓顶部固定有顶架，所述顶架中部固定有切换装置，所述检测仓顶部一端固定有检测管，所述检测仓一侧固定有抽真空接头，所述检测仓内壁顶部固定有放气装置。本发明在检测时，气体不泄露，在检测完成后，通过真空泵抽出，防止气体泄漏，可对四种不同的气体进行分析，适应性较高，通过槽轮减速器可使四种气体分析传感器依次切换，且操作较为方便。

技术领域

本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域，尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。

背景技术

气体工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级；

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性；

在芯片制造中，对于微电子气体的浓度和纯度有着极大的要求，因此在使用微电子气体之前，需要对微电子气体进行分析；

而现有的微电子气体分析系统在分析结束后，气体容易泄露，造成环境的污染；

在使用时，不方便对不同的气体进行分析，且操作不方便。

因此，有必要提供一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法解决上述技术问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明是提供一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。

本发明提供的一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统，包括底板，所述底板上表面固定有检测仓，所述底板上表面固定有移出装置，所述移出装置顶部固定有固定装置，所述固定装置内壁夹持有气瓶，所述移出装置一端固定有密封门，所述检测仓顶部固定有顶架，所述顶架中部固定有切换装置，所述检测仓顶部一端固定有检测管，所述检测仓一侧固定有抽真空接头，所述检测仓内壁顶部固定有放气装置；

所述切换装置包括第一伺服电机、槽轮减速器、第一转盘、固定筒、内螺纹套筒、第一螺纹杆、限位块、限位槽、第二伺服电机、第一平齿轮、第一齿轮环、第二转盘和气体分析传感器，所述顶架顶部固定有槽轮减速器，所述槽轮减速器顶部固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端与槽轮减速器的输入端固定连接，所述槽轮减速器的输出端穿过顶架固定有第一转盘，所述第一转盘下表面固定有固定筒，所述固定筒底部通过轴承转动连接有内螺纹套筒，所述内螺纹套筒内壁螺纹连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆顶部对称固定有限位块，所述固定筒内壁对称开设有限位槽，且限位块与限位槽滑动连接，所述第一转盘下表面固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定有第一平齿轮，所述内螺纹套筒外侧固定有第一齿轮环，且第一平齿轮与第一齿轮环啮合连接，所述第一螺纹杆底部固定有第二转盘，所述第二转盘外圆等距可拆卸固定有多种气体分析传感器，且气体分析传感器与检测管插接；