[发明专利]电感与可调滤波器

说明书

本发明公开了一种电感与可调滤波器。其包括MEMS多触点开关和共面波导传输结构；共面波导传输结构包括中心信号线以及设置于中心信号线两侧的多个支臂；沿中心信号线延伸的方向，至少两条直线上设置至少一对支臂；在MEMS多触点开关闭合时，中心信号线和一对中的支臂通过MEMS多触点开关连接。本发明将MEMS多触点开关与共面波导传输结构集成，通过闭合MEMS多触点开关连通中心信号线和一对中的支臂，改变共面波导传输结构的线路连接，可以减少支臂间总的连通开关数目，使电感的整体尺寸得以减小，构成满足毫米波滤波器需求的小尺寸平面结构电感。

技术领域

本发明实施例涉及无线通信技术领域，尤其涉及一种电感与可调滤波器。

背景技术

高性能微型滤波器可以在多频段的无线通信系统和无线收发器中起到信道选择、双功及镜像消除寄生滤波等重要作用。但是由于多频带接收机中采用的单频滤波器不能同时满足多个频段选择的需求,进而多频带接收机里通常增设多个单频滤波器分选不同频段,由此加大了多频带接收机的无线通信系统滤波器电路设计尺寸。

近年来随着微波、毫米波波段的多频无线通信系统的发展，基于MEMS技术的可调谐滤波器逐渐引起了人们的广泛关注。现有滤波器采用可变电抗元件构成，可变电抗元件采用MEMS变阻器作为调谐元件，可调谐范围为10％-15％。然而，对于调谐范围较宽的离散频率，通常采用电容式MEMS开关来获得更高的可调谐范围。除此之外，另一种实现宽范围离散频率调谐的滤波器是采用准分形结构和MEMS触点开关，由于其电感元件采用分布式线路设计，进而其阻带抑制功能受到影响。

滤波器的设计原理是通过调整L和C的值来实现滤波器频率响应的上移或下移，因此，理想的可调谐滤波器设计不仅需要可变电容，还需要可变电感。然而，由于可变电容过渡的非平面性，使其不能与其他电路集成，无法满足毫米波滤波器对小尺寸平面结构的需求。

发明内容

本发明提供一种电感与可调滤波器，用以解决现有技术中电感和电容组成滤波器电路尺寸大的缺陷，使其可以满足毫米波滤波器对小尺寸平面结构电感的需求。

第一方面，本发明实施例提供了一种电感，包括MEMS多触点开关和共面波导传输结构；

共面波导传输结构包括中心信号线以及设置于中心信号线两侧的多个支臂；沿中心信号线延伸的方向，至少两条直线上设置至少一对支臂；在MEMS多触点开关闭合时，中心信号线和一对中的支臂通过MEMS多触点开关连接。

进一步地，MEMS多触点开关包括接触片、第一驱动板和第二驱动板；

接触片、第一驱动板和第二驱动板均设置有阵列排布的孔；沿第一方向，接触片包括第一端和第二端，第一驱动板和第二驱动板分别设置于接触片的两侧，并分别与第一端和第二端连接；第一驱动板和第二驱动板能够沿第一方向向接触片运动；

其中，第一方向为接触片上阵列排布的孔的行方向。

进一步地，MEMS多触点开关还包括第一支撑梁和第二支撑梁；

沿第二方向，接触片包括第三端和第四端，第一支撑梁和第二支撑梁分别设置于接触片的两侧；第一支撑梁的第一端和第二支撑梁的第一端分别与第一驱动板连接，第一支撑梁的第二端和第二支撑梁的第二端分别与第二驱动板连接；其中，第二方向为接触片上阵列排布的孔的列方向。

进一步地，中心信号线的一侧设置有第一支臂和第二支臂，中心信号线的另一侧设置有第三支臂和第四支臂；

沿中心信号线的延伸方向，第一支臂和第二支臂位于一条直线上，第三支臂和第四支臂位于一条直线上；第一支臂远离第二支臂的一端与中心信号线连接，第二支臂远离第一支臂的一端与中心信号线连接，第三支臂远离第四支臂的一端与中心信号线连接，第四支臂远离第三支臂的一端与中心信号线连接。

进一步地，电感还包括衬底；