[发明专利]一种单晶炉热场加热装置及其加热方法有效
申请号: | 202110334151.0 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN113122911B | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 程旭兵;周波 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 徐昶 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 加热 装置 及其 方法 | ||
1.一种单晶炉热场加热装置,加热装置位于单晶炉(1)内,其特征在于,所述单晶炉(1)内设有支撑架(4),支撑架(4)上设有底座(6)和调节件(5),调节件(5)控制底座(6)位于支撑架(4)上上下移动,底座(6)上设有基准盘(7),底座(6)上设有阵列分布的调节螺杆(10),调节螺杆(10)用于调节基准盘(7)的水平度,支撑架(4)上设有加热件(8),加热件(8)上可拆卸设有填充件(9),填充件(9)用于向石英罩和坩埚四周填充沙子;
所述加热件(8)包括发热件,发热件上设有对称分布的第二连接块(83),第二连接块(83)的两端分别设有第一支撑环(84);
所述填充件(9)包括支撑件(91),支撑件(91)的下方转动设有阵列分布的截留件(93),支撑件(91)上设有提拉件(92);
所述支撑件(91)包括锥形套(911)和支撑外壳(916),锥形套(911)的下方设有第二支撑环(912);
所述锥形套(911)与支撑外壳(916)之间形成放置沙子的放置区(94),第二支撑环(912)与支撑外壳(916)之间形成流通沙子的流通区(95),所述支撑外壳(916)的下方设有阵列分布的第三连接块(9161);
所述支撑外壳(916)外套装有第三支撑环(918),第三支撑环(918)的下方设有配合槽(9181),填充件(9)通过配合槽(9181)套装在第一支撑环(84)上;
所述截留件(93)包括截留主体(931),截留主体(931)之间形成环形结构位于流通区(95)的下方进行截留;
所述截留主体(931)上设有连接柱(932),截留主体(931)的一侧设有第四连接块(933),第四连接块(933)上设有固定轴(934),截留件(93)通过固定轴(934)位于转动连接孔(9163)内转动;
所述提拉件(92)包括阵列分布的连接绳(921),连接绳(921)的一端固定设有提拉绳(922),另一端固定在连接柱(932)内;
所述填充件(9)在重力的作用下,截留件(93)对流通区(95)进行截留,避免放置区(94)内的沙子流出,将配合槽(9181)套装在第一支撑环(84)上后,截留件(93)在重力和沙子的压力作用下发生转动,沙子从流通区(95)流出。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于,所述单晶炉(1)包括方形框体(11),方形框体(11)的一侧转动设有门体(2),另一侧设有锁合件(3),门体(2)包括门主体(21),门主体(21)的一侧与方形框体(11)紧固连接,另一侧设有对称分布的卡口(22)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于,所述锁合件(3)包括转动件(31)和锁合单元(32),转动件(31)包括与方形框体(11)转动连接的第一转动轴(311),第一转动轴(311)上垂直设有第一螺纹杆(312),锁合单元(32)上设有第一连接杆(321),第一连接杆(321)的一端设有与第一螺纹杆(312)配合的第一螺纹孔(323),另一端设有第一转动手柄(322),第一连接杆(321)上设有挤压块(324)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于,所述支撑架(4)包括支撑盘(41),支撑盘(41)上设有对称分布的第二螺纹杆(42),支撑盘(41)上设有第一贯穿孔(43)和第二贯穿孔(46),支撑盘(41)的下方设有第一连接块(44),第一连接块(44)上设有第三贯穿孔(45)。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场加热装置,其特征在于,所述调节件(5)包括第二转动轴(51)和第三转动轴(54),第二转动轴(51)位于第二贯穿孔(46)内转动,第二转动轴(51)的一端设有第二转动手柄(53),另一端设有第一锥齿轮(52),第三转动轴(54)位于第三贯穿孔(45)内转动,第三转动轴(54)的一端设有与第一锥齿轮啮合传达的第二锥齿轮(55),另一端设有齿轮(56)。
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