[发明专利]基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法在审
| 申请号： | 202110333309.2 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113091939A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 赵瑜;费维栋;李泽;李伟力;王黎东;盛捷 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01K7/22 | 分类号： | G01K7/22 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 石墨 钛酸锶钡异质结 灵敏度 温度传感器 制备 方法 | ||
1.基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于该制备方法按下列步骤实现：
一、采用固相烧结法按照BaxSr1-xTiO3的化学计量比制备钛酸锶钡陶瓷并抛光；
二、裁剪负载于铜片上的石墨烯，在石墨烯上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯，得到旋涂后的石墨烯；
三、将旋涂后的石墨烯放入铜刻蚀液中，从铜刻蚀液中捞取石墨烯，石墨烯放入去离子水中清洗，得到清洗干净的石墨烯；
四、采用湿法转移的方法将清洗干净的石墨烯转移至钛酸锶钡陶瓷的抛光面上，然后将钛酸锶钡陶瓷放入烘箱中烘干，得到烘干后的钛酸锶钡陶瓷；
五、将烘干后的钛酸锶钡陶瓷放入丙酮中溶解石墨烯表面的聚甲基丙烯酸甲酯，再放入去离子水中清洗干净，得到石墨烯-钛酸锶钡异质结；
六、将石墨烯-钛酸锶钡异质结放入烘箱中烘干，得到基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器。
2.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤一化学式BaxSr1-xTiO3中x的取值为0.1≤x≤0.4。
3.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤一所述固相烧结法是在1200～1450℃下烧结6～12小时。
4.根据权利要求3所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤一所述固相烧结法是在1300℃下烧结8小时。
5.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤二裁剪的铜片尺寸为(4～8)×(2～5)mm。
6.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于是步骤三旋涂后的石墨烯放入铜刻蚀液中处理10～50分钟。
7.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤三石墨烯放入去离子水中清洗5～30分钟，并重复清洗3～5次。
8.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤四中所述烘干的温度为50～80℃，烘干时间为30～90分钟。
9.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤五中将烘干后的钛酸锶钡陶瓷放入丙酮中溶解处理时间为5～30分钟。
10.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤六中烘干的温度为50～80℃，烘干时间为30～90分钟。
11.根据权利要求1所述的基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的制备方法，其特征在于步骤六采用真空蒸镀法在基于石墨烯/钛酸锶钡异质结的高灵敏度温度传感器的石墨烯表面沉积金电极。
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