[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 202110331758.3 申请日: 2021-03-29
公开(公告)号: CN113497030B 公开(公告)日: 2023-09-08
发明(设计)人: 陈奕豪;吴祖仪 申请(专利权)人: 新唐科技股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 王涛;任默闻
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,用以保护一内部电路,其特征在于,包括:

一晶体管,包括一栅极端、一源极端、一漏极端以及一基极端,其中所述源极端耦接至所述内部电路,所述漏极端耦接至一输入/输出焊垫,所述基极端耦接至一接地端;以及

一静电放电保护装置,耦接于所述输入/输出焊垫以及所述接地端之间,其中当所述输入/输出焊垫接收到一静电放电电流时,所述静电放电保护装置将所述静电放电电流排除至所述接地端;

其中,所述晶体管包括:

一半导体基板,具有一第一导电型;

一第一井区,具有一第二导电型,且形成于所述半导体基板中;

一第二井区,具有所述第二导电型,且形成于所述第一井区中;

一第三井区,具有所述第一导电型,形成于所述半导体基板中且与所述第一井区相互连接;以及

一第四井区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中,且位于所述第二井区以及所述第三井区之间;

一第一顶掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中且位于所述第二井区以及所述第四井区之间,其中所述第一顶掺杂区是与所述第二井区相互连接;

一第二顶掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第四井区中;

一第一掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第二顶掺杂区中,其中所述第一掺杂区形成所述栅极端;

一第三掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第二井区中,其中所述第三掺杂区形成所述漏极端;

一第四掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第一井区中且位于所述第三井区以及所述第四井区之间,其中所述第四掺杂区形成所述源极端;以及

一第五掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第三井区中,其中所述第五掺杂区形成所述基极端。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述静电放电保护装置包括:

一第五井区,具有所述第一导电型,形成于所述半导体基板中且与所述第一井区相邻;

一第三顶掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中且位于所述第二井区以及所述第五井区之间,其中所述第三顶掺杂区是与所述第二井区相互连接;

一第六掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第二井区中;

一第七掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第五井区中;

一第八掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第五井区中,且位于所述第一井区以及所述第七掺杂区之间;

一第一栅极结构,形成于所述第三顶掺杂区之上,其中所述第六掺杂区以及所述第一栅极结构耦接至所述输入/输出焊垫;以及

一第二栅极结构,形成于所述第一井区以及所述第五井区之上,且位于所述第三顶掺杂区以及所述第八掺杂区之间,其中所述第二栅极结构、所述第七掺杂区以及所述第八掺杂区是耦接至所述接地端。

3.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,所述静电放电保护装置是为一静电放电保护晶体管。

4.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,所述静电放电保护装置更包括:

一第九掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中,且与所述第六掺杂区相互连接,其中所述第九掺杂区是耦接至所述输入/输出焊垫,其中所述晶体管之所述栅极端是为一浮接状态。

5.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,所述晶体管更包括:

一第二掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第二顶掺杂区中,且与所述第一掺杂区相互连接。

6.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,所述第一掺杂区是位于所述第二掺杂区以及所述第三掺杂区之间。

7.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,所述第二掺杂区是位于所述第一掺杂区以及所述第三掺杂区之间。

8.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,所述栅极端是耦接至所述接地端。

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