[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 202110331758.3 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN113497030B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 陈奕豪;吴祖仪 | 申请(专利权)人: | 新唐科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛;任默闻 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,用以保护一内部电路,其特征在于,包括:
一晶体管,包括一栅极端、一源极端、一漏极端以及一基极端,其中所述源极端耦接至所述内部电路,所述漏极端耦接至一输入/输出焊垫,所述基极端耦接至一接地端;以及
一静电放电保护装置,耦接于所述输入/输出焊垫以及所述接地端之间,其中当所述输入/输出焊垫接收到一静电放电电流时,所述静电放电保护装置将所述静电放电电流排除至所述接地端;
其中,所述晶体管包括:
一半导体基板,具有一第一导电型;
一第一井区,具有一第二导电型,且形成于所述半导体基板中;
一第二井区,具有所述第二导电型,且形成于所述第一井区中;
一第三井区,具有所述第一导电型,形成于所述半导体基板中且与所述第一井区相互连接;以及
一第四井区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中,且位于所述第二井区以及所述第三井区之间;
一第一顶掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中且位于所述第二井区以及所述第四井区之间,其中所述第一顶掺杂区是与所述第二井区相互连接;
一第二顶掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第四井区中;
一第一掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第二顶掺杂区中,其中所述第一掺杂区形成所述栅极端;
一第三掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第二井区中,其中所述第三掺杂区形成所述漏极端;
一第四掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第一井区中且位于所述第三井区以及所述第四井区之间,其中所述第四掺杂区形成所述源极端;以及
一第五掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第三井区中,其中所述第五掺杂区形成所述基极端。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,所述静电放电保护装置包括:
一第五井区,具有所述第一导电型,形成于所述半导体基板中且与所述第一井区相邻;
一第三顶掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中且位于所述第二井区以及所述第五井区之间,其中所述第三顶掺杂区是与所述第二井区相互连接;
一第六掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第二井区中;
一第七掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第五井区中;
一第八掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第五井区中,且位于所述第一井区以及所述第七掺杂区之间;
一第一栅极结构,形成于所述第三顶掺杂区之上,其中所述第六掺杂区以及所述第一栅极结构耦接至所述输入/输出焊垫;以及
一第二栅极结构,形成于所述第一井区以及所述第五井区之上,且位于所述第三顶掺杂区以及所述第八掺杂区之间,其中所述第二栅极结构、所述第七掺杂区以及所述第八掺杂区是耦接至所述接地端。
3.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,所述静电放电保护装置是为一静电放电保护晶体管。
4.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,所述静电放电保护装置更包括:
一第九掺杂区,具有所述第一导电型,形成于所述第一井区中,且与所述第六掺杂区相互连接,其中所述第九掺杂区是耦接至所述输入/输出焊垫,其中所述晶体管之所述栅极端是为一浮接状态。
5.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,所述晶体管更包括:
一第二掺杂区,具有所述第二导电型,形成于所述第二顶掺杂区中,且与所述第一掺杂区相互连接。
6.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,所述第一掺杂区是位于所述第二掺杂区以及所述第三掺杂区之间。
7.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,所述第二掺杂区是位于所述第一掺杂区以及所述第三掺杂区之间。
8.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,所述栅极端是耦接至所述接地端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的