[发明专利]一种电子束反射电子的成像系统

权利要求书

1.一种电子束反射电子的成像系统，包括上位机(1)、成像处理单元(2)、信号处理单元(3)、偏转控制单元(4)和电子束焊接单元(5)，其特征在于：所述上位机(1)与成像处理单元(2)通信连接，成像处理单元(2)与信号处理单元(3)、偏转控制单元(4)通信连接，电子束焊接单元(5)还包括电子枪(51)、真空室(52)、反射电子收集器(53)、工件(54)和工装(55)，所述电子枪(51)设于真空室(52)外，反射电子收集器(53)设于真空室(52)的一端，反射电子收集器(53)与信号处理单元(3)通信连接，工件(54)安装在工装(55)上，并设于真空室(52)的另一端，电子枪(51)上安装偏转线圈(511)，偏转线圈(511)与偏转控制单元(4)通信连接。

所述偏转控制单元(4)由仪表放大器IC1、运算放大器IC2A、运算放大器IC3、算放大器IC2B、输出电压BU1和输入电压BU2组成，仪表放大器IC1的2脚、3脚分别连接输入电压信号Z6、B6，仪表放大器IC1的6脚连接串联的电位器R4、电阻R5与电阻R6，同时电阻R5连接继电器K1，电阻R6连接继电器K2，继电器K1与继电器K2连接电阻R10后，与运算放大器IC2A的3脚连接，运算放大器IC2A的1脚连接串联的电位器R12与电阻R13，同时电阻R13连接运算放大器IC3的2脚，运算放大器IC3的6脚连接电阻R22与电阻R23，电阻R22连接电阻R34后，与MOS管T3B的G极连接，电阻R23连接电阻R35后，与MOS管T4B的G极连接，运算放大器IC2A的2脚连接电阻R44后，与输出电压BU1的3脚连接，算放大器IC2B的6脚连接电阻R40、电阻R39后，与MOS管T4B、MOS管T3B的S极连接，算放大器IC2B的7脚连接电阻R45后，与输入电压BU2的3脚连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子束反射电子的成像系统，其特征在于：所述仪表放大器IC1的型号为INA114AP。

3.根据权利要求1所述的一种电子束反射电子的成像系统，其特征在于：所述运算放大器IC2A与运算放大器IC2B的型号为TL072ACP。

4.根据权利要求1所述的一种电子束反射电子的成像系统，其特征在于：所述运算放大器IC3的型号为AD845JN。

5.根据权利要求1所述的一种电子束反射电子的成像系统，其特征在于：所述偏转线圈(511)由圈体(5111)、线板(5112)和线束(5113)组成，线板(5112)安装于圈体(5111)的四端，线束(5113)设于线板(5112)之间，并盘绕于圈体(5111)上。

6.根据权利要求1所述的一种电子束反射电子的成像系统，其特征在于：所述反射电子收集器(53)由顶层铜板(531)和底层铜板(532)组成，顶层铜板(531)接地，底层铜板(532)接收反射电子，顶层铜板(531)与底层铜板(532)之间通过电阻、放电管连接。

7.根据权利要求1所述的一种电子束反射电子的成像系统，其特征在于：所述成像处理单元(2)由箱体(21)、电路板(22)和数据线(23)组成，电路板(22)安装于箱体(21)内，数据线(23)与电路板(22)连接。