[发明专利]一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法

权利要求书

1.一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将多个已知不同微量水分含量的六氟化硫气体样品和待测微量水分含量的六氟化硫气体样品分别注入到多个聚四氟乙烯袋中，获取多个含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的聚四氟乙烯袋和含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的聚四氟乙烯袋，并分别对所述聚四氟乙烯袋进行标号加以区分；

步骤二：将多个含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的聚四氟乙烯袋依次放入通有干燥气体的太赫兹时域光谱快速扫描系统中，获取含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的吸收光谱数据；

步骤三：通过含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的吸收光谱数据，获取含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图；

步骤四：将含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的聚四氟乙烯袋放入通有干燥气体的太赫兹时域光谱快速扫描系统中，获取含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的吸收光谱数据；

步骤五：重复步骤四，得到多组含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的吸收光谱数据，通过计算获取含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的吸收光谱数据的平均数据值，并获取含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图；

步骤六：将含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图和含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图做对比，获取待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量数值；

其中，若某一含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图和含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图在各相同频率时的峰值都相同，则判定所述待测微量水分含量的六氟化硫气体样品和所述含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品所含有的微量水分含量相同；

若含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图和含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图均不匹配，则先找到与含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图各频率时的峰值最接近的含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图，判断所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量和含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量的大小关系；

若所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量小于含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量，则重新选取比所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量较小的气体样品重新进行检测，得到与之对应的频域谱图，并与所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图做对比，判断其微量水分含量十分一致；

若所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量大于含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量，则重新选取比所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的微量水分含量较大的气体样品重新进行检测，得到与之对应的频域谱图，并与所述含有待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图做对比，判断其微量水分含量十分一致。

2.根据权利要求1所述的一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法，其特征在于，所述聚四氟乙烯袋的尺寸适应于太赫兹时域光谱快速扫描系统。

3.根据权利要求1所述的一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法，其特征在于，所述太赫兹时域光谱快速扫描系统在运行过程中所处坏境的室温范围为20℃-25℃，所处环境的气压范围为0.7-1.5个标准大气压。

4.根据权利要求1所述的一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法，其特征在于，所述含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图和检测后的所述待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图将组成光谱数据库，以便检测其它六氟化硫气体样品所含有的微量水分含量。