[发明专利]一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备在审
| 申请号： | 202110325509.3 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112917326A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 田力男 | 申请（专利权）人： | 南京田力宇电子商务有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/06;B24B47/22;B24B55/03 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 吕连川 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 晶片 工用 自动 定心 表面 氧化 辅助 设备 | ||
1.一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)外部活动连接有夹持板(2)，所述夹持板(2)顶部活动连接有缓冲弹簧(3)，所述缓冲弹簧(3)顶部活动连接有支撑杆(4)，所述支撑杆(4)顶部活动连接有转动座(5)，所述转动座(5)顶部固定连接有啮合座(6)，所述啮合座(6)内部活动连接有转动轴(8)，所述转动轴(8)顶部活动连接有升降座(7)，所述夹持板(2)左侧活动连接有传动板(9)，所述传动板(9)顶部活动连接有震动弹簧(10)，所述震动弹簧(10)顶部活动连接有往复活塞(11)，所述往复活塞(11)顶部活动连接有闭气腔(12)，所述闭气腔(12)顶部活动连接有传动活塞(13)，所述传动活塞(13)顶部固定连接有传动杆(14)，所述传动杆(14)顶部活动连接有挤压弹簧(15)，所述传动杆(14)左右两侧均活动连接有推拉杆(16)，所述推拉杆(16)左端固定连接有加压块(17)，所述加压块(17)顶部活动连接有复位弹簧(18)，所述加压块(17)底部活动连接有加压活塞(19)，所述加压活塞(19)底部活动连接有储液腔(20)，所述储液腔(20)底部活动连接有雾化喷头(21)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，其特征在于：所述加压活塞(19)的直径大小与储液腔(20)内壁的直径大小一致，且加压活塞(19)与储液腔(20)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，其特征在于：所述往复活塞(11)与传动活塞(13)的直径大小均与闭气腔(12)内壁的直径大小一致。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，其特征在于：所述夹持板(2)共有三个，呈阵列状分布在安装座(1)的外部。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，其特征在于：所述挤压弹簧(15)的中心轴线与传动活塞(13)、传动杆(14)的中心轴线为同一直线。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶片加工用自动定心防表面氧化的辅助设备，其特征在于：所述啮合座(6)内壁的表面固定连接有齿牙，且该齿牙与转动轴(8)啮合。
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