[发明专利]一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质

权利要求书

1.一种半导体测试装置，其特征在于，包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块和所述测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接；

所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；

所述测试模块包括：老化板和至少一个最终测试板；在每个所述测试模块中：所述最终测试板用于接收所述站点控制模块发送的所述控制指令，并基于所述控制指令控制所述老化板进行老化测试；所述老化板用于对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据发送至所述最终测试板，所述最终测试板将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块的同时，通过数据总线接收所述站点控制模块发送的下一环节的控制指令。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述站点控制模块包括：多路串行接口线，所述多路串行接口线中的每一路串行接口线均与一最终测试板连接。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，每个所述测试模块还包括：NAND闪存接口单元；在每个所述测试模块中，所述老化板和所述最终测试板之间通过所述NAND闪存接口单元进行数据传输。

4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述站点控制模块包括：FPGA芯片，所述FPGA芯片用于提供多个串行接口，所述多个串行接口中的每个串行接口均与串行接口线连接。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述站点控制模块包括：ARM处理器，所述ARM处理器用以生成控制老化测试的控制指令。

6.一种数据处理方法，应用于测试端，所述测试端包括：老化板和至少一个最终测试板，其特征在于，包括：

所述最终测试板通过数据总线接收控制端发送的控制指令；

基于所述控制指令，控制所述老化板对半导体器件进行老化测试，并接收老化测试得到的测试数据；

将所述测试数据通过串行接口线发送至所述控制端的同时，通过数据总线接收所述控制端发送的下一环节的控制指令。

7.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，所述测试数据发送至所述控制端所需的时间不超过单次老化测试所需的时间。

8.一种数据处理方法，应用于控制端，其特征在于，包括：

通过数据总线向测试端发送控制指令；所述测试端包括：老化板和至少一个最终测试板；

通过串行接口线接收测试端发送的测试数据的同时，通过数据总线向所述测试端发送下一环节的控制指令；所述测试数据为所述最终测试板基于所述控制指令控制所述老化板对半导体器件进行老化测试得到的数据。

9.根据权利要求8所述的数据处理方法，其特征在于，控制端接收所述测试数据所需的时间不超过所述控制指令的发送时间间隔。

10.一种终端设备，其特征在于，所述设备包括存储器和处理器，其中，所述存储器中存储有指令；

所述处理器用于运行所述存储器中存储的指令，所述指令被处理器运行时，实现权利要求6-7任一项所述的数据处理方法或权利要求8-9任一项所述的数据处理方法。

11.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现权利要求6-7任一项所述的数据处理方法或权利要求8-9任一项所述的数据处理方法。