[发明专利]检测方法、检测设备、检测装置及存储介质

说明书

本申请公开了一种检测方法、检测设备、检测装置、及非易失性计算机可读存储介质。检测方法应用于检测设备，检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置。检测方法包括：获取工件上待检测的目标区域及图像采集装置检测工件的目标速率，目标区域为工件的部分区域，目标速率为单位时间内图像采集装置的采集范围；根据目标速率及目标区域确定承载装置的目标转速；根据目标区域及目标转速确定图像采集装置的第一目标频率，第一目标频率为图像采集装置的采集频率；及根据目标转速调节承载装置的转速，并根据第一目标频率控制图像采集装置获取图像。本申请实施方式的检测方法、检测设备、及检测装置支持用户设置不同的目标速率用于检测。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测方法、检测设备、检测装置、及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

工业检测过程，尤其是在对半导体工件(例如晶圆)的检测过程中，主要是在工件转动时，通过激光光源发出的光线反射到探测器后对工件表面进行检测。然而，由于工业检测的过程固定，只能以固定的检测精度检测工件，难以满足不同的检测精度需求。

发明内容

本申请实施方式提供一种检测方法、检测设备、检测装置、及非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的检测方法应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置，所述检测方法包括：获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。

本申请实施方式的检测设备包括承载装置、光源组件、图像采集装置、及处理器。所述承载装置用于承载所述工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述处理器用于：获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；根据所述目标速率及所述目标区域获取所述承载装置的目标转速；根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。

本申请实施方式的检测装置应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置、光源组件、及图像采集装置，所述承载装置用于承载所述工件，所述光源组件用于照射所述工件，所述图像采集装置用于采集所述工件被照射区域的图像以用作检测，所述检测装置包括：获取模块，用于获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；确定模块，用于根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；所述确定模块，还用于用于根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及控制模块，所述控制模块用于根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。

本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质，所述非易失性计算机可读存储介质包含计算机程序，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行如下晶圆检测方法：获取所述工件上待检测的目标区域及所述图像采集装置检测工件的目标速率，所述目标区域为所述工件的部分区域，所述目标速率为单位时间内所述图像采集装置的采集范围；根据所述目标速率及所述目标区域确定所述承载装置的目标转速；根据所述目标区域及所述目标转速确定所述图像采集装置的第一目标频率，所述第一目标频率为所述图像采集装置的采集频率；及根据所述目标转速调节所述承载装置的转速，并根据所述第一目标频率控制所述图像采集装置获取图像。