[发明专利]一种混合式磁聚焦透镜电子束成像系统

权利要求书

1.一种混合式磁聚焦透镜电子束成像系统，其特征在于，包括光电阴极(10)、阳极栅网(20)、门控微通道板(30)、CCD摄像模块(40)、两个短磁透镜(50)和四个长磁透镜(60)；

所述光电阴极(10)、所述阳极栅网(20)、所述门控微通道板(30)和所述CCD摄像模块(40)依次同轴排列，所述光电阴极(10)和所述阳极栅网(20)紧邻设置，所述门控微通道板(30)和所述CCD摄像模块(40)紧邻设置，所述阳极栅网(20)和所述门控微通道板(30)间隔预设飞行距离；

两个所述短磁透镜(50)分别放置在所述光电阴极(10)和所述门控微通道板(30)处，四个所述长磁透镜(60)均匀放置在所述阳极栅网(20)和所述门控微通道板(30)之间的电子漂移区；

所述短磁透镜(50)为圆环形状，所述短磁透镜(50)包括软铁外壳、铝骨架和铜线圈，所述铝骨架和所述铜线圈位于所述软铁外壳内，所述铜线圈缠绕在所述铝骨架上，所述软铁外壳的内侧中央有一圈缝隙，所述铜线圈产生的磁场通过所述缝隙溢出；

所述短磁透镜(50)的外径为356mm，内径为260mm，轴线方向长度为100mm，所述缝隙的宽度为4mm；所述铜线圈的匝数为1320匝；

所述长磁透镜(60)由铜漆包线缠绕而成；

还包括位于所述阳极栅网(20)和所述门控微通道板(30)之间的电子漂移管，四个所述长磁透镜(60)依次相邻缠绕在所述电子漂移管上；

所述长磁透镜(60)为圆环形状，所述长磁透镜(60)的内径为160mm，轴线方向长度为100mm，所述长磁透镜(60)的线圈匝数为1320匝；

以所述光电阴极(10)为坐标原点，所述光电阴极(10)的轴线方向为Z轴，两个所述短磁透镜(50)和四个所述长磁透镜(60)的放置位置为：

第一个所述短磁透镜(50)的第一侧面的Z轴坐标为-50mm，第一个所述短磁透镜(50)的第二侧面的Z轴坐标为50mm；

第一个所述长磁透镜(60)的第一侧面的Z轴坐标为50mm，第一个所述长磁透镜(60)的第二侧面的Z轴坐标为150mm；

第二个所述长磁透镜(60)的第一侧面的Z轴坐标为150mm，第二个所述长磁透镜(60)的第二侧面的Z轴坐标为250mm；

第三个所述长磁透镜(60)的第一侧面的Z轴坐标为250mm，第三个所述长磁透镜(60)的第二侧面的Z轴坐标为350mm；

第四个所述长磁透镜(60)的第一侧面的Z轴坐标为350mm，第四个所述长磁透镜(60)的第二侧面的Z轴坐标为450mm；

第二个所述短磁透镜(50)的第一侧面的Z轴坐标为450mm，第二个所述短磁透镜(50)的第二侧面的Z轴坐标为550mm。

2.根据权利要求1所述的混合式磁聚焦透镜电子束成像系统，其特征在于，所述门控微通道板(30)包括微通道板(301)、微带传输线(302)和荧光屏(303)；

所述微带传输线(302)设置在所述微通道板(301)上，所述微通道板(301)放置在靠近所述阳极栅网(20)一侧，所述荧光屏(303)放置在靠近所述CCD摄像模块(40)一侧。

3.根据权利要求1所述的混合式磁聚焦透镜电子束成像系统，其特征在于，所述光电阴极(10)、所述阳极栅网(20)和所述门控微通道板(30)位于真空管中。

4.根据权利要求1所述的混合式磁聚焦透镜电子束成像系统，其特征在于，还包括设置在所述光电阴极(10)一侧、用于产生光信号的光发射模块(70)，所述光发射模块(70)发射的光信号照射到所述光电阴极(10)上产生光电子。