[发明专利]激光装置和激光装置处理方法

说明书

提供激光装置和激光装置处理方法。实施例涉及的激光装置包括：激光束输出部；校正部，校正从所述激光束输出部射出的激光束；激光扫描器，对由所述校正部校正的所述激光束进行扫描；反射体，将由所述激光扫描器扫描的所述激光束反射到处理基板；以及控制部，控制所述校正部，所述控制部根据所述激光扫描器的扫描条件来控制所述校正部。

技术领域

本公开涉及激光装置及其操作方法。

背景技术

通过根据照射激光的基板的位置调节激光入射角等，已经做出了很多 用于提高激光装置的准确度的努力。

在美国专利US 5,087,987中公开了关于具有780-890nm的波长的红外 线光的色彩校正F-θ透镜。然而，在该专利公开的方法中所利用的F-θ透镜 会因高输出激光器或使用紫外线光的激光器而受损，从而难以适用于高输 出激光器或利用紫外线光的装置。

在美国专利US 5,838,481中公开了适用F-θ透镜和凹面镜(concave mirror)的内容。然而，由于激光照射沿着一个方向一维地进行扫描，因 此为了对二维面积进行全部扫描，需要反复进行多次相同的一维扫描。

在国际专利WO2012/131015中公开了利用可改变单色光激光束的波 形的镜子的内容。然而，该方法依然是沿着激光照射方向一维地进行扫描， 因此为了对二维面积进行全部扫描，需要反复进行多次一维扫描。

根据美国申请公开US 2008/0259425，公开了激光束聚焦要素位于扫 描头部内的激光加工装置。虽然公开了用于将激光束的焦点调节到扫描镜 并使像场弯曲(fieldcurvature)平坦化的光束偏转单元，但是难以减小激 光束相对于宽面积的远心(telecentric)误差。

根据美国专利US 8,425,496，虽然利用可变形的(deformable)镜子 (mirror)，但是由于利用F-θ透镜，因此难以解决色像差问题，并且难以 适用于大面积。此外，F-θ透镜可能会因高输出激光器或利用紫外线光的 激光器而受损，因此难以适用于高输出激光器或利用紫外线光的装置中。

为了对大面积的基板进行处理，需要向大面积的基板表面照射远心误 差小的激光束。为了减小远心误差，虽然可利用尺寸大的远心透镜，但是 由于这种透镜昂贵且笨重，因此在成本和制造工序上存在问题。

发明内容

各实施例用于提供利用高能量的激光源进行调节使得能够入射可聚 焦至宽的二维面积的强度的激光，从而可处理大面积基板的激光装置。

本发明的目的并不限于上述的目的，应理解在不脱离本发明的思想和 领域的范围内可进行各种扩展。

实施例涉及的激光装置可包括：激光束输出部；校正部，校正从所述 激光束输出部射出的激光束；激光扫描器，对由所述校正部校正的所述激 光束进行扫描；反射体，将由所述激光扫描器扫描的所述激光束反射到处 理基板；以及控制部，控制所述校正部，所述控制部根据所述激光扫描器 的扫描条件来控制所述校正部。

所述校正部可包括可变形的镜子。

所述校正部可包括微孔薄膜、压电元件、微机电系统中的至少一个。

所述控制部可包括存储器，所述存储器可存储根据所述激光扫描器的 扫描角度的所述校正部的形状数据。

所述激光扫描器可包括第一扫描器和第二扫描器，所述第一扫描器可 沿着第一方向对所述激光束进行扫描，并且所述第二扫描器可沿着与所述 第一方向垂直的第二方向对所述激光束进行扫描。

所述激光装置还可包括位于所述激光扫描器与所述反射体之间的第 一光学体，所述第一光学体可被配置成比所述反射体更靠近所述激光扫描 器。

所述第一光学体可为球面透镜。

所述反射体可为球面镜子。