[发明专利]带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板

说明书

本发明公开了水冷板技术领域的带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板之间设有循环水道，所述循环水道的进水口连通有进水管，所述进水管位于底板的顶端左侧，所述循环水道的出水口连通有回水管，所述回水管位于底板的底端右侧，且进水管上连接有流量阀，所述盖板的前端面设有温度传感器，且温度传感器电性连接流量阀，所述底板的左侧外壁可拆卸连接有连接罩，且连接罩内设置有散热风扇，所述散热风扇的出风口正对循环水道的一侧，且底板的右侧外壁开设有若干组散热孔，本发明通过循环水道和通入的冷气可加速水冷板的散热，冷却效率高，且散热风扇加速了空气的流动，水冷配合风冷的冷却效率更高，使用效果好。

技术领域

本发明涉及水冷板技术领域，具体为带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板。

背景技术

在液晶半导体成膜过程中，靶体受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶体损坏，于是需要通过冷却背板，对靶体持续进行冷却，但是目前的水冷板内部结构简单，大多都是通过单一的水循环管道进行冷却，冷却效率低，进水侧与回水侧温差大，整板温度均匀性差，且现有的水冷板仅通过自然的空气流动带走水冷板上的热量，这样的风冷方式散热效率非常低，使用效果差，为此，我们提出带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板。

发明内容

本发明的目的在于提供带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，以解决上述背景技术中提出的现有的水冷板冷却效率低的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板之间设有循环水道，所述循环水道的进水口连通有进水管，所述进水管位于底板的顶端左侧，所述循环水道的出水口连通有回水管，所述回水管位于底板的底端右侧，且进水管上连接有流量阀，所述盖板的前端面设有温度传感器，且温度传感器电性连接流量阀，所述底板的左侧外壁可拆卸连接有连接罩，且连接罩内设置有散热风扇，所述散热风扇的出风口正对循环水道的一侧，且底板的右侧外壁开设有若干组散热孔。

优选的，相邻所述循环水道之间设置有进气管，且进气管竖直插接在底板和盖板之间，所述进气管的顶端连通有通气管，所述通气管位于底板的顶端，且进气管的管壁上开设有若干组开孔，所述开孔正对循环水道，所述盖板的前端面开设有若干组气孔。

优选的，所述进水管与循环水道的连接处设有连接管道，且连接管道通过法兰连接进水管和循环水道，所述连接管道截面呈圆形，且连接管道的内壁固定连接有限位环，所述限位环呈圆形，且限位环的顶端活动连接有过滤网。

优选的，所述连接罩呈U字型，且开口端正对底板的左侧外壁，所述连接罩的两侧外壁固定连接有安装板，所述安装板内腔竖直插接有紧固螺栓，且紧固螺栓的底端螺纹连接在底板和盖板之间，所述连接罩的左侧外壁开设有若干组与散热孔相匹配的进风口。

优选的，所述连接罩内腔前侧竖直插接有防尘网，所述连接罩的底端内壁设有与防尘网相匹配的安装座，所述连接罩的顶端且位于防尘网的左侧固定连接有第一固定块，所述连接罩的顶端且位于防尘网的右侧固定连接有第二固定块，所述第一固定块的一侧竖直插接有调节螺栓，所述调节螺栓的底端固定连接有压盘，所述压盘的下表面贴合在防尘网的一侧。

优选的，所述连接罩内腔且位于散热风扇的前端面活动连接有第一冷水管，所述第一冷水管的两侧螺纹连接有连接座，所述连接座位于连接罩的内壁。

优选的，所述底板和盖板之间的左侧内壁固定连接有集风腔，所述集风腔的进风口正对连接罩的出风口，所述集风腔呈梯形，且集风腔内竖直插接有第二冷水管，所述集风腔的出风口正对循环水道。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明通过循环水道加速水冷板内部的散热，在循环水道之间通过通气管和进气管通入冷气，进气管上的开孔将通入的冷气传输到循环水道上，可加速对循环水道的散热，冷却效率高，进水侧与回水侧温差小，整板温度均匀性好。