[发明专利]一种柔性应变传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性应变传感器，其特征在于：包括依次叠加的封装层、中间层和柔性基底；该中间层设有四组微通道，每组微通道内填充有液态金属构成电阻条，四个电阻条通过导线依次相连构成惠斯通电桥；封装层设有输入线路和输出线路，且分别与惠斯通电桥的输入端和输出端电性连接。

2.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：包括有第一电阻条、第二电阻条、第三电阻条和第四电阻条，该第一电阻条和第三电阻条横向平行设置，该第二电阻条和第四电阻条纵向平行设置且分别位于第一电阻条和第三电阻条两侧；第一电阻条两端分别与第二电阻条和第四电阻条一端相连，第三电阻条两端分别与第二电阻条和第四电阻条另一端相连。

3.如权利要求2所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述第一电阻条或第三电阻条与所述第二电阻条和第四电阻条相垂直。

4.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述微通道包括若干长通道和若干连接通道，该若干长通道为平行间隔分布，该连接通道连通相邻的两长通道；所述液态金属填充于该长通道和连接通道内。

5.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述液态金属为镓或镓铟锡合金。

6.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述镓铟锡合金中镓、铟、锡含量分别为61.5％、28.5％、10％。

7.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述封装层采用的材料是硅橡胶。

8.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述柔性基底采用的是硅橡胶。

9.如权利要求1所述的一种柔性应变传感器，其特征在于：所述中间层采用的是硅橡胶。

10.一种柔性应变传感器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤

1)采用3D打印制作具有四组微通道的转印模具；

2)将液态硅橡胶注入在转印模具中并进行固化，脱模后得到柔性基底和具有四组微通道的中间层；

3)将液态金属注入微通道中形成电阻条，通过导线依次连接四个电阻条构成惠斯通电桥；

4)在中间层表面制作封装层，在封装层上制作输入线路和输出线路且分别与惠斯通电桥的输入端和输出端电性连接。