[发明专利]一种用于气体浓度检测的中空多层膜及其制备方法

权利要求书

1.一种用于气体浓度检测的中空多层膜，其特征在于，包括多个单层增益膜层（92）和设置在各个单层增益膜层（92）之间的支撑体膜层（93），所述支撑体膜层（93）上设置有深度穿透支撑体膜层的条形通道（94）。

2.根据权利要求1所述的一种用于气体浓度检测的中空多层膜，其特征在于，所述单层增益膜层（92）的材质为质量比为100：0.6~100：1.4的乙基纤维素与荧光素纳混合，所述支撑体膜层（93）的材质为乙基纤维素。

3.根据权利要求1所述的一种用于气体浓度检测的中空多层膜，其特征在于，所述条形通道（94）的宽度200um±20um。

4.根据权利要求1所述的一种用于气体浓度检测的中空多层膜，其特征在于，所述支撑体膜层（93）的厚度为单层增益膜层（92）的厚度的9~15倍。

5.根据权利要求1所述的一种用于气体浓度检测的中空多层膜，其特征在于，所述单层增益膜层（92）的数量为5~20。

6.一种用于气体浓度检测的中空多层膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、分别在两种玻璃基片上旋涂旋涂一层牺牲层，然后在牺牲层上分别制备单层增益膜层（92）和支撑体膜层（93），并在支撑体膜层（93）上划出条形通道（94）；

S2、将单层增益膜层（92）和支撑体膜层（93）从玻璃基片上剥离；

S3、将单层增益膜层（92）和支撑体膜层（93）交替堆叠，使其交替沉积在镀膜基片（91）上，并使支撑体膜层（93）上的条形通道（94）对准，然后使其干燥后自粘，形成中空多层膜。

7.根据权利要求6所述的一种用于气体浓度检测的中空多层膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，牺牲层材质为聚苯乙烯；

所述步骤S2中，将步骤S1得到的玻璃基片放入环己烷中，使聚苯乙烯牺牲层在环己烷中溶解，进而使单层增益膜层（92）和支撑体膜层（93）从聚苯乙烯牺牲层中释放出来，得到单层增益膜层（92）和支撑体膜层（93）。

8.一种气体浓度检测装置，其特征在于，包括权利要求1~5中任一项所述的中空多层膜，还包括固体激光器（1）、光学组件、光谱仪和FP腔（8），所述中空多层膜设置在FP腔（8）中，所述固体激光器（1）发出的光经光学组件后入射至FP腔（8），所述FP腔出射的激光由光谱仪（10）采集并进行分析。

9.根据权利要求8所述的一种气体浓度检测装置，其特征在于，所述光学组件包括光阑（2）、二分之一波片（3）、偏振分光棱镜（4）和双凸透镜（6）。