[发明专利]一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法

说明书

本发明公开一种真空直拉炉生产机构，生产机构包括第一底板，所述第一底板上设有第一支架，第一支架上设有单晶炉，单晶炉包括炉体，炉体下方设有坩埚升降转动组件，炉体上设有旋阀，旋阀上设有副室，炉体上端设有导向组件，副室上端设有转动盘，第一底板一侧设有取晶组件，取晶组件包括夹紧组件和尾托组件。本发明生产机构结构稳定可靠，硅晶棒拉直简单快捷，导向组件能够有效避免单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，出现偏移现象，提高了硅晶棒同心率，提高了产品质量，在进行取晶时，夹紧组件和尾托组件可以有效的调节位置，夹紧支撑效果好，降低了脱落几率，极大提高了稳定性。

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，具体是一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等，我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体，而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体，可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。现有的单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，偶尔会出现偏移现象，导致硅晶棒不同心，影响产品质量，在进行取晶时，需要稳定、可靠的取晶装置。针对这种情况，现提出一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法，能够有效解决现有的单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，偶尔会出现偏移现象，导致硅晶棒不同心，影响产品质量，在进行取晶时，需要稳定、可靠的取晶装置的情况。本发明生产机构结构稳定可靠，硅晶棒拉直简单快捷，导向组件能够有效避免单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，出现偏移现象，提高了硅晶棒同心率，提高了产品质量，在进行取晶时，夹紧组件和尾托组件可以有效的调节位置，夹紧支撑效果好，降低了脱落几率，极大提高了稳定性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种真空直拉炉生产机构，生产机构包括第一底板，所述第一底板上设有第一支架，第一支架上设有单晶炉，单晶炉包括炉体，炉体下方设有坩埚升降转动组件，炉体上设有旋阀，旋阀上设有副室，炉体上端设有导向组件，副室上端设有转动盘，第一底板一侧设有取晶组件，取晶组件包括夹紧组件和尾托组件，夹紧组件包括镜像分布的第一夹紧块，第一夹紧块下方设有尾托组件，尾托组件包括轴向分布的夹爪，轴向分布的夹爪内设有托块。

进一步地，所述第一底板上设有第一支柱和第二支柱，第一支柱一侧设有第一伸缩杆，第一伸缩杆固定在第一底板上，第一伸缩杆上端设有第一伸缩板，第二支柱上设有第一滑杆。

进一步地，所述第一支柱上端设有第三支柱，第三支柱上设有第一滑块，第一滑块与第一滑杆滑动配合，第三支柱一侧设有阵列分布的第一转动块、第二支架和第三支架，第一转动块内设有第一转轴，第一转轴与第一转动块转动连接，第一转轴上设有阵列分布的第一安装块，第一安装块与第一转轴固定连接，第一转轴下端设有第一圆锥齿轮；

所述第二支架上设有第一电机，第一电机动力端设有第二圆锥齿轮，第一圆锥齿轮与第二圆锥齿轮啮合，第一安装块一侧设有转动支架，转动支架与第一安装块固定连接，转动支架一侧设有固定架，固定架上设有阵列分布的固定环，第三支架固定在第一伸缩板上，第一伸缩杆推动第一支柱升降，第一电机带动固定架转动。

进一步地，所述炉体固定在第一支架上，炉体一侧设有抽气孔，炉体上端设有进气孔和激光测径仪，炉体内设有第一开槽，第一开槽外设有挡边，第一开槽外侧设有封闭门，炉体两侧均设有第二伸缩杆，第二伸缩杆上端设有第二伸缩板，第二伸缩板与封闭门固定连接，第二伸缩杆推动封闭门升降。