[发明专利]基于多孔质节流单元的静压气浮单元及加工方法

权利要求书

1.基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工方法，该方法是基于气浮块(1)和N个多孔质节流单元(2)实现的，N为大于或等于4的整数；

其特征在于，该加工方法包括如下步骤：

步骤一、在气浮块(1)上表面加工有球窝(1-1)和凸台(1-2)，且球窝(1-1)位于凸台(1-2)上；

步骤二、在气浮块(1)下表面加工有N个镶嵌孔(1-3)，N个镶嵌孔(1-3)周向均匀分布，且镶嵌孔(1-3)的孔径与多孔质节流单元(2)相匹配；

再在气浮块(1)的侧壁上钻M个孔，使其所钻的孔在气浮块(1)内部形成连通的气腔，该连通的气腔作为气浮块(1)的供气通道(1-4)，且供气通道(1-4)与N个镶嵌孔(1-3)连通；M为大于或等于2的整数；

步骤三、对气浮块(1)下表面进行打磨，使其气浮块(1)下表面满足静压气浮工作的要求；

步骤四、将N个多孔质节流单元(2)分别镶嵌在N个镶嵌孔(1-3)内，通过密封材料对每个多孔质节流单元(2)的周向侧壁与该多孔质节流单元(2)所在的镶嵌孔(1-3)的侧壁间的间隙进行密封，使供气通道(1-4)通过多孔质节流单元(2)与外部连通；其中，N个多孔质节流单元(2)的下表面均沉入气浮块(1)下表面，且每个多孔质节流单元(2)的下表面与气浮块(1)下表面间的间距为d；

再将气浮块(1)的侧壁上所钻M个孔中的M-1个孔进行密封，剩余的一个孔作为供气通道(1-4)的进气口，从而完成对基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工。

2.根据权利要求1所述的基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工方法，其特征在于，供气通道(1-4)的进气口上安装有供气接口(3)，且供气接口(3)伸出至气浮块(1)外部。

3.根据权利要求1所述的基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工方法，其特征在于，步骤四中，对每个多孔质节流单元(2)的周向侧壁与该多孔质节流单元(2)所在的镶嵌孔(1-3)的侧壁间的间隙进行密封的材料为密封胶。

4.根据权利要求1所述的基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工方法，其特征在于，步骤四中，通过封气堵(4)对气浮块(1)的侧壁上所钻M个孔中的M-1个孔进行密封。

5.根据权利要求1所述的基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工方法，其特征在于，气浮块(1)下表面的平面度小于5um。

6.根据权利要求1所述的基于多孔质节流单元的静压气浮单元的加工方法，其特征在于，0＜d≤0.1，d的单位为mm。