[发明专利]一种混合有机传感膜的声表面波氨气传感器在审
| 申请号： | 202110308347.2 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113063849A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 徐江城 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/22 |
| 代理公司： | 成都易创经云知识产权代理有限公司 51322 | 代理人： | 王超 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 混合 有机 传感 表面波 氨气 传感器 | ||
1.一种混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：包括声表面波谐振器、铝电极和外围振荡电路；
所述外围振荡电路包括移相电路和放大电路；其中，移相电路用于将声波信号的相位翻转，放大电路用于放大经移相电路相位翻转后的声波信号；
所述声表面波谐振器上设有压电基底，以及从左向右依次设置于所述压电基底上的反射输入叉指换能器、传感膜、输出叉指换能器和反射栅；
所述输入叉指换能器通过铝电极连接到移相电路的输入端，所述移相电路输出端通过放大电铝电极连接到输出叉指换能器。
2.根据权利要求1所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述混合有机传感膜为聚丙烯酸和聚乙烯醇溶液制成的混合有机薄膜。
3.根据权利要求2所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述聚丙烯酸溶液浓度为0.1M。
4.根据权利要求2所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述聚丙烯酸薄膜的沉积厚度为262.3nm。
5.根据权利要求2所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述聚乙烯醇溶液浓度为0.01M。
6.根据权利要求2所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述聚乙烯醇薄膜的沉积厚度为273.9nm。
7.根据权利要求1所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述反射栅用于收集声波、降低损耗，所述压电基底为石英基底。
8.根据权利要求7所述的混合有机传感膜的声表面波氨气传感器，其特征在于：所述石英基底的长宽高分别为12mm、3mm、0.5mm。
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