[发明专利]一种石英晶体振动体及制造方法

权利要求书

1.一种石英晶体振动体，所述的石英晶体振动体(2)包括石英晶体(4)和金属膜(5)，其特征在于：所述的石英晶体(4)上表面和下表面均设置有金属膜(5)，所述的金属膜(5)包括电极面(6)和电极脚(7)，所述的电极面(6)包括主振动区(61)和非主振动区(62)，所述的主振动区(61)为电极面(6)在石英晶体(4)的上表面或者下表面形成的重叠部分，所述的非主振动区(62)为电极面(6)在石英晶体(4)的上表面或者下表面未形成重叠的部分，所述的主振动区(61)小于电极面(6)，所述的主振动区(61)为圆形，所述的主振动区(61)一半的周长和非主振动区(62)结合为一体。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶体振动体，其特征在于：所述的石英晶体振动体(2)的频率为80-100MHz基本波。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶体振动体，其特征在于：所述的金属膜(5)共有两层分别为金属外层(52)和介质层(51)，所述的金属外层(52)为Au膜或者Ag膜，所述的介质层(51)设置在金属外层(52)和石英晶体(4)之间，所述的介质层(51)为Cr膜。

4.根据权利要求1所述的一种石英晶体振动体，其特征在于：每个金属膜(5)共有两个电极脚(7)，两个电极脚(7)分别设置在石英晶体(4)的两个角落处，其中一个电极脚(7)与非主振动区(62)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶体振动体的制造方法，包括以下步骤：

S1：镀膜，镀膜是通过溅镀的方式，以高能量粒子冲撞金属靶材表面，金属表面的原子与这些高能量粒子交换动量，从表面弹出并通过电场作用转换到石英晶体(4)表面形成金属膜(5)，石英晶体(4)在溅镀时安装在治具内，通过治具决定金属膜(5)的电极面(6)和电极脚(7)的形状和大小；

S2：微调，微调是采用干式蚀刻的方式，离子束轰击石英晶体金属膜表面，通过减少表面金属原子的方式使石英晶体振动体的频率调整到目标范围内，所述的微调包括粗调和细调，所述微调的区域为微调面(11)，微调面(11)包括并大于主振动区(61)，使微调后的整个主振动区(61)膜面平整，降低微调刻蚀过程形成的凹陷导致的应力差异和副波产生，从而提升产品的频率稳定性。