[发明专利]一种pVTt法气体流量标准装置中附加体积处的温度控制系统

权利要求书

1.一种pVTt法气体流量标准装置中附加体积处的温度控制系统，其特征在于：

pVTt法气体流量标准装置包括临界流文丘里喷嘴、开关阀，标准容器和控制系统；在所述临界流文丘里喷嘴和开关阀之间具有附加体积；

所述附加体积一端连接所述临界流文丘里喷嘴，所述附加体积的另一端连接所述开关阀；

在所述附加体积处设置有温度控制系统，所述温度控制系统对所述附加体积处的温度进行调控。

2.如权利要求1所述的pVTt法气体流量校准装置，其特征在于：所述开关阀连带计时器，用以pVTt法气体标准装置的测量起始的控制及进气时间的记录。

3.如权利要求1所述的pVTt法气体流量标准装置中附加体积处的温度控制系统，其特征在于：所述标准装置的控制系统对所述临界流文丘里喷嘴的上游滞止温度、滞止压力进行测量，同时记录计时器所记录的进气时间，及标准容器内的起始及最终温度、压力。

4.如权利要求1所述的pVTt法气体流量标准装置中附加体积处的温度控制系统，其特征在于：所述温度控制系统根据待测临界流文丘里喷嘴的流量大小对温度进行调控。

5.一种如权利要求1-4任一项所述的pVTt法气体流量标准装置中附加体积处的温度控制方法，包括：

启动真空泵，打开标准容器下游阀门，在所述标准容器内的压力抽至起始压力低于200Pa，即p_i200Pa，保证临界流文丘里喷嘴处于临界流的状态，待标准容器内的温度、压力达到稳定后，记录标准容器内的温度、压力；

基于临界流文丘里喷嘴的喉径、滞止温度、滞止压力确定附加体积处的温度调控；

开启开关阀，触发计时器计时，采集进气过程中对应待测临界流文丘里喷嘴的滞止温度、滞止压力。保证临界流，关闭开关阀，记录进气时间，待标准容器内的温度、压力达到稳定后，记录标准容器内的温度、压力。