[发明专利]一种精准检测硒化锌材料内部夹杂物的方法

说明书

本发明属于红外材料测试领域，具体公开了一种精准检测硒化锌材料内部夹杂物的方法，该检测方法须在暗室中进行，利用黑色薄膜底垫的反衬，配备LED冷光灯或卤素灯从晶体生长方向的侧面射入，为硒化锌材料散射颗粒的检测创造了较好的测试条件，可最大限度地找出材料中不同于黑色的散射颗粒，将散射颗粒分布的位置做好标识，再利用显微镜准焦后，准确地测量出单位面积内含的散射颗粒的尺寸和数量。本发明方法明显地提高了硒化锌材料内部散射颗粒的识别能力，减少了测试时间，提高了工作效率，实现了对硒化锌材料内部各个层面散射颗粒的数量、尺寸的测量，同时还减少测试时灯具光线对人体眼睛的损伤。

技术领域

本发明属于红外材料测试领域，特别涉及一种精准检测硒化锌材料内部夹杂物的方法。

背景技术

硒化锌材料内部的夹杂物检测是测量材料内部的散射颗粒（如包裹物、气泡、大的位错区及雾丝等），即测试散射颗粒的数量和尺寸。目前，用于检测硒化锌材料中夹杂物的方法主要是肉眼观察结合放大镜测量法，该方法在日光灯照的环境下，使用强光灯成斜角射入硒化锌抛光片材料内部，用肉眼去观测材料的内部，找到材料内部的散射颗粒后，再用放大镜对材料中散射颗粒进行测量，最后读取测量的数值。这种测量方法简单，但它只能检测到硒化锌材料内部因原料或设备引入的异物而形成的、不同于材料本射颜色的散射颗粒，比如黑色、红色和白色等一些非常容易发现的散射颗粒，但这种测试方法很难发现化学气相沉积过程可能因反应不完全或其他原因形成的、更接近材料颜色的散射颗粒（如灰色/灰白色的散射颗粒），而且放大镜无法实现对材料内部各个层面的检测，即无法对焦到材料内部的各个层面，因此也就无法实现对材料内部各个层面散射颗粒的检测；另外，这种测试方法应用的强光灯多是成斜角射入的平行光，检测时部分光线可以从产品的抛光表面反射回来，最后进入到检测人员的眼睛里，不但会对测试造成干扰，而且长时间的测试还会对视觉造成一定的损伤。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种精准检测硒化锌材料内部夹杂物的方法，该方法明显地提高了硒化锌材料内部散射颗粒的识别能力，缩短了观测时间，提高了工作效率，实现了对硒化锌材料各个层面散射颗粒的数量、尺寸的测量，同时还减少光线对人体眼睛的损伤。

为实现本发明目的，具体技术方案如下：

一种精准检测硒化锌材料内部夹杂物的方法，包括以下步骤：

步骤一：将待测硒化锌材料试样表面擦拭干净，在无任何可见光线的暗室内进行该试验；

步骤二：将试样放置在垫有黑色薄膜的台面上，使用光源正对试样晶体生长方向的侧面射入，找出散射颗粒分布密集的位置，并进行标识；

步骤三：将试样转移到显微镜垫有黑色薄膜的载物台上，利用显微镜在标识的位置准焦后找到散射颗粒，测量散射颗粒的尺寸和数量，尺寸包括散射颗粒的长度值为a和宽度为b；

步骤四：计算散射颗粒的尺寸，具体公式（1）、（2）为:

a=k×n₁（1）

b=k×n₂（2）

其中：a为被测散射颗粒长度；b为被测散射颗粒宽度；k为分度尺格值；n为分度尺格数。

本发明在没有任何光线的暗室，减少其他光线对测试过程的干扰和影响；步骤二中，将光线从材料（即晶体生长方向）的侧面完全射入，借助晶体内杂质颗粒、气泡等对光的全反射作用引起的散射，从晶片的正面观察到晶体内散射颗料的情况，正面观察样片的测量方法，极大的保护了测试人员的视力。在步骤三中选用了黑色薄膜作为检测的底衬，使材料内部不同于黑色的散射颗粒更加容易地被识别。

进一步地，步骤一中，待测硒化锌材料试样的上下表面需进行双面抛光。

进一步地，步骤二中，光源为LED冷光灯或卤素灯，本发明选用了可以提供匀质的照明、功率小、照度高、色温好、基本不产生热的LED冷光灯。也可以选用能够提供匀质照明、具有极好防护性能、不会使标本发热的卤素灯。