[发明专利]用于形成线束的设备

权利要求书

1.一种用于形成线束的设备，所述设备包括：

激光源，被配置成生成输入光；

望远镜单元，被配置成在垂直于光轴的X轴方向上放大所述输入光，以产生放大光，其中所述光轴是所述输入光的行进方向；

束变换单元，被配置成将来自所述望远镜单元的所述放大光划分为多个子列；

傅里叶单元，被配置成均匀地混合所述多个子列，以产生混合光；

长轴光学单元，被配置成在所述X轴方向上均匀地分散来自所述傅里叶单元的所述混合光，以产生分散光；以及

短轴光学单元，被配置成将来自所述长轴光学单元的所述分散光聚焦到参考平面上，

其中，所述短轴光学单元包括凹反射表面，并且所述反射表面的曲率在所述X轴方向上是恒定的。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述线束包括在所述X轴方向上的长轴以及在垂直于所述X轴方向的Y轴方向上的短轴，并且

所述短轴光学单元被配置成减小来自所述长轴光学单元的所述分散光的短轴宽度。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述短轴光学单元包括熔融石英或玻璃陶瓷。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述短轴光学单元相对于平行于所述X轴方向的轴可旋转。

5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述反射表面的垂直于所述X轴方向的截面包括柱形表面、椭圆表面和抛物表面中的至少一种的形状。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述反射表面的所述截面的第一部分具有第一曲率，并且所述反射表面的所述截面的第二部分具有第二曲率。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个子列在所述X轴方向上布置，并且

所述束变换单元使所述多个子列中的每一个相对于所述光轴旋转90°。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述傅里叶单元包括一个柱形凸透镜，所述柱形凸透镜具有3000mm至15000mm的焦距。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述望远镜单元包括彼此间隔开的第一透镜和第二透镜，

所述第一透镜的入射表面的凹表面延伸，以与所述第一透镜的出射表面的凸表面交叉，并且

所述第二透镜的入射表面的凸表面延伸，以与所述第二透镜的出射表面的凸表面交叉。

10.根据权利要求9所述的设备，其中，所述第一透镜的所述出射表面的所述凸表面平行于所述第二透镜的所述入射表面的所述凸表面延伸，并且

所述第一透镜的所述入射表面的所述凹表面平行于所述第二透镜的所述出射表面的所述凸表面延伸。