[发明专利]一种降低光纤预制棒生产成本的制造方法

权利要求书

1.一种降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将靶棒固定于气相轴向沉积设备，转动靶棒并控制靶棒上升速度，将氢气、氧气、四氯化硅和四氯化锗通过不同管道通入第一喷灯，氢气、氧气、四氯化硅和四氯化锗在第一喷灯口燃烧，在靶棒端部沉积形成芯层；

形成芯层的过程中控制四氯化锗的流量，使芯层两端的锗元素含量小于芯层中部的锗元素含量；

S2、将氢气、氧气、含氟气体、四氯化硅通过不同管道通入其余喷灯，氢气、氧气、含氟气体、四氯化硅和四氯化锗在其余喷灯口燃烧，继续芯层外侧沉积得到疏松体；

S3、将疏松体进行烧结，然后进行拉伸。

2.根据权利要求1所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，S1中，芯层包括：处于芯层两端的初始沉积部、终末沉积部，以及掺杂沉积部，其中初始沉积部和终末沉积部的锗元素含量为0。

3.根据权利要求2所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，S1中，芯层的总长度为d，初始沉积部的长度为a₀，终末沉积部的长度为b₀，则5.5％≤a₀/d≤6.5％，8.6％≤b₀/d≤10.6％。

4.根据权利要求2或3所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，S1中，控制四氯化锗的流量具体操作如下：先采用氢气、氧气、四氯化硅在第一喷灯口燃烧，当在靶棒端面完成初始沉积部沉积后，提高四氯化锗的流量使氢气、氧气、四氯化硅和四氯化锗在第一喷灯口燃烧，当在初始沉积部下端完成掺杂沉积部沉积后，降低四氯化锗的流量使氢气、氧气、四氯化硅在第一喷灯口燃烧以完成终末沉积部沉积。

5.根据权利要求4所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，S1中，四氯化锗流量的提高速度为18-22ml/min，四氯化锗流量的降低速度为23-27ml/min。

6.根据权利要求1所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，烧结拉伸过程中，变径区域位于初始沉积部和终末沉积部。

7.根据权利要求6所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，

烧结拉伸前，所述变径区域在初始沉积部上对应区域的长度为c₀，所述变径区域在初始沉积部上对应区域的平均直径为r₀；

烧结拉伸后，初始沉积部上所述变径区域的长度为c₁，初始沉积部上所述变径区域的平均直径为r₁；

则c₀、r₀、c₁、r₁符合如下函数关系：

8.根据权利要求6所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，

烧结拉伸前，所述变径区域在终末沉积部上对应区域的长度为e₀，所述变径区域在终末沉积部上对应区域的平均直径为R₀；

烧结拉伸后，终末沉积部上所述变径区域的长度为e₁，终末沉积部上所述变径区域的平均直径为R₁；

则e₀、R₀、e₁、R₁符合如下函数关系：

9.根据权利要求1所述降低光纤预制棒生产成本的制造方法，其特征在于，S2中，含氟气体为四氟化硅。