[发明专利]带有检测功能的圆筒导热装置

说明书

本发明公开了镀膜导热装置技术领域的带有检测功能的圆筒导热装置，包括圆筒本体，圆筒本体呈中空状，圆筒本体端面均匀设有通孔，通孔延伸至圆筒本体右侧，圆筒本体中部外壁套接有冷却装置，冷却装置外表面缠绕有冷却水管，冷却水管的进水端上部设有过滤装置，过滤装置上部设有进水管，冷却水管的出水端固定连接有出水管，圆筒本体内腔内壁左侧设有第一温度传感器，第一温度传感器右侧设有热流传感器，圆筒本体外壁左侧设有第一温度显示装置，圆筒本体内腔内壁右侧设有第二温度传感器，圆筒本体外壁右侧设有第二温度显示装置，该装置结构简单，操作方便，有效提高冷却管的冷却效率。

技术领域

本发明涉及镀膜导热装置技术领域，具体为带有检测功能的圆筒导热装置。

背景技术

生的热量传递称为热传导,简称导热，由于流体流动而造成的传热方式，在镀膜工艺中，通常用圆筒导热装置，在成膜过程中，需要对靶材持续进行冷却，因为靶材寿命有限，靶材在使用设定的次数后，需要进行更换，于是需要人工记录靶材使用的次数，这样的方式工作繁琐，且容易出错，此外现有的冷却管，没有温度监测，易导致冷却管温度不稳定到，为此，我们提出带有检测功能的圆筒导热装置。

发明内容

本发明的目的在于提供带有检测功能的圆筒导热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：带有检测功能的圆筒导热装置，包括圆筒本体，所述圆筒本体呈中空状，所述圆筒本体端面均匀设有通孔，所述通孔延伸至圆筒本体右侧，所述圆筒本体中部外壁套接有冷却装置，所述冷却装置外表面缠绕有冷却水管，所述冷却水管的进水端上部设有过滤装置，所述过滤装置上部设有进水管，所述冷却水管的出水端固定连接有出水管，所述圆筒本体内腔内壁左侧设有第一温度传感器，所述第一温度传感器右侧设有热流传感器，所述圆筒本体外壁左侧设有第一温度显示装置，所述圆筒本体内腔内壁右侧设有第二温度传感器，所述圆筒本体外壁右侧设有第二温度显示装置。

优选的，所述冷却装置包括连接块、半圆连接环、弧形凹槽、制冷片、螺栓和螺母，所述圆筒本体的前后两侧均设有半圆连接环，两组所述半圆连接环的开口相对应，所述半圆连接环的连接处中部均设有连接块，所述连接块从左到右贯穿设置有螺栓，所述螺栓右侧外壁设有螺母，所述半圆连接环内腔内壁均匀设有弧形凹槽，所述弧形凹槽内腔均设有制冷片。

优选的，所述制冷片为弧形状，所述制冷片的宽度与半圆连接环的宽度相等，且制冷片内腔内壁弧度与圆筒本体外壁弧度相匹配。

优选的，所述过滤装置包括第一法兰、第二法兰、过滤箱、侧板、锁紧螺栓和过滤网，所述进水管下端设有第一法兰，所述第一法兰下端由第二螺栓固定连接有第二法兰，所述第二法兰下端面设有过滤箱，所述过滤箱左端设有侧板，所述侧板左端面四周均匀设有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓贯穿侧板至过滤箱左端面，所述侧板右端面底部设有过滤网。

优选的，所述过滤网右侧为倾斜状，且过滤网右端面与过滤箱内腔右壁上部贴合，所述过滤网的孔径为1-2mm。

优选的，所述冷却水管呈螺旋状缠绕于圆筒本体中部外壁，所述冷却水管内腔内壁设有波浪状内壁。

优选的，所述通孔设置有十组，且十组通孔在圆筒本体的筒壁内腔呈环形阵列设置。

优选的，所述第一温度传感器和热流传感器均与第一温度显示装置电性连接，所述第二温度传感器与第二温度显示装置电性连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、第一温度传感器、热流传感器、第一温度显示装置、第二温度传感器和第二温度显示装置，当流体通过圆筒本体内部，通过第一温度传感器检测出流体的温度，通过调节冷却水管和制冷片的制冷效果，再通过第二温度传感器检测流体的温度，保证圆筒本体的温度适宜，具有快速冷却的效果。