[发明专利]充电式半永久静电吸附装置

说明书

本发明公开了充电式半永久静电吸附装置，该装置主要由线路层、绝缘层、粘结层以及基板组成，所述线路层的内部设有梳齿型线路，所述梳齿型线路的端部分别设有一个供电触点，所述绝缘层贴在线路层的两面，并且绝缘层与线路层通过粘结层粘结在基板上。本发明所述的充电式半永久静电吸附装置，属于自动化生产夹具领域，是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物，适用于大气、真空及等离子体环境，主要作用是吸附各种导体、半导体、绝缘体，并使吸附物保持较好的平坦度，静电吸附在吸附过程中，对被吸附物无任何夹持或吸附应力，静电吸附力均匀，相较机械卡盘和真空吸盘，不会造成被吸附物(特别是一些超薄或脆弱的物体)任何外力损伤。

技术领域

本发明涉及自动化生产夹具领域，特别涉及充电式半永久静电吸附装置。

背景技术

随着5G在普及应用，生产制造业的自动化、智能化、加工工艺升级，以往生产线上产品采用人工转移，其效率得不到进一步提升，随之而来的是机械夹持、真空吸附夹持，以此来代替手工实现高效转移，但是在一些半导体以及触控显示行业中，传统的机械夹持与真空吸附夹持存在各种问题：真空吸附在真空环境下吸附不牢固、机械卡盘颗粒污染、以及真空吸盘和机械卡盘可能造成的被吸附物外力损伤等，导致其难以满足更高精度的生产加工。

发明内容

本发明的主要目的在于提供充电式半永久静电吸附装置，可以有效解决背景技术中提到的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

充电式半永久静电吸附装置，该装置主要由线路层、绝缘层、粘结层以及基板组成，所述线路层的内部设有梳齿型线路，所述梳齿型线路的端部分别设有一个供电触点，所述绝缘层贴在线路层的两面，并且绝缘层与线路层通过粘结层粘结在基板上。

优选的，所述线路层使用铜、ITO、金等导体材质，通过激光蚀刻、显影蚀刻等方式加工出梳齿型线路，所述梳齿型线路的直流电压耐受范围为±3000V。

优选的，所述绝缘层使用聚醯亚胺材质，通过热压贴合的方式贴在线路层的两面。

优选的，所述粘结层使用特种胶粘剂通过真空热压贴合方式将线路层与绝缘层连同粘结层一起粘结在基板上。

优选的，所述基板用于支撑线路层与绝缘层，并且选择使用铝合金材质。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明充电式半永久吸附装置通过电场产生的静电力吸附固定各种材料(导体、半导体、绝缘体)，并且不需要持续供电，充电完成后即可对被吸附工件保持持久的吸附力，可以反复重复利用，在真空环境下仍然可以保持较强的吸附了，解决了传统的真空吸附在真空环境下吸附不牢固、机械卡盘颗粒污染、以及真空吸盘和机械卡盘可能造成的被吸附物外力损伤等问题，鉴于以上特点，适用于半导体、新能源、触控显示行业的智能自动化生产中。

附图说明

图1为本发明充电式半永久静电吸附装置的整体结构切面示意图；

图2为本发明充电式半永久静电吸附装置的线路层结构示意图；

图3为本发明充电式半永久静电吸附装置的工作示意图。

图中：1、线路层；2、绝缘层；3、粘结层；4、基板；5、供电触点；6、梳齿型线路。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

如图1-3所示，充电式半永久静电吸附装置，该装置主要由线路层1、绝缘层2、粘结层3以及基板4组成，线路层1的内部设有梳齿型线路6，梳齿型线路6的端部分别设有一个供电触点5，绝缘层2贴在线路层1的两面，并且绝缘层2与线路层1通过粘结层3粘结在基板4上。