[发明专利]显示器件的蒸镀装置和蒸镀方法

权利要求书

1.一种显示器件的蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀基台，用于固定待蒸镀器件；

蒸镀单元，与所述蒸镀基台相对设置且能够沿第一方向移动，所述蒸镀单元包括用于在所述待蒸镀器件上蒸镀不同材料的第一蒸镀源和第二蒸镀源，所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源沿所述第一方向设置；在同一时刻，所述第一蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第一蒸镀区域包括沿所述第一方向设置的第一部分和第二部分，所述第二蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第二蒸镀区域与所述第二部分重叠；所述第二蒸镀区域和所述第二部分用于在所述待蒸镀器件上形成第一膜层，所述第一部分用于在所述第一膜层上形成第二膜层。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀单元还包括第三蒸镀源，所述第三蒸镀源设置于所述第一蒸镀源的远离所述第二蒸镀源的一侧；所述第三蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第三蒸镀区域位于所述第一部分的远离第二部分的一侧，且所述第三蒸镀区域用于在所述第二膜层上形成第三膜层；

或者

所述蒸镀单元还包括第三蒸镀源，所述第三蒸镀源设置于所述第二蒸镀源的远离所述第一蒸镀源的一侧；所述第三蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第三蒸镀区域位于所述第二部分的远离第一部分的一侧，且所述第三蒸镀区域用于在所述待蒸镀器件上形成第三膜层，所述第一膜层形成于所述第三膜层上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀单元还包括与所述蒸镀基台相对设置的移动载台，所述第一蒸镀源、所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源固定于所述移动载台的面向所述蒸镀基台的一侧；

所述蒸镀装置还包括动力单元，连接于所述移动载台且用于驱动所述移动载台沿所述第一方向移动；

优选地，所述蒸镀装置还包括真空腔室，所述蒸镀基台、所述蒸镀单元以及所述动力单元容纳于所述真空腔室内。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括连接于所述蒸镀单元的限制单元，所述限制单元具有第一开口和第二开口，所述第一开口用于限定所述第一蒸镀区域，所述第二开口用于限定所述第二蒸镀区域。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述限制单元包括沿所述第一方向设置的第一限制板和第二限制板；

所述第一限制板包括第一连接部和第一倾斜部，所述第一连接部连接所述蒸镀单元和所述第一倾斜部，所述第一倾斜部朝向所述第二限制板倾斜；

所述第二限制板包括第二连接部和第二倾斜部，所述第二连接部连接所述蒸镀单元和所述第二倾斜部，所述第二倾斜部朝向所述第一限制板倾斜；

所述第一倾斜部和所述第二倾斜部之间形成所述第一开口；

优选地，所述第一倾斜部可转动地连接于所述第一连接部，所述第二倾斜部可转动地连接于所述第二连接部。

6.一种蒸镀方法，其特征在于，应用于权利要求1所述的蒸镀装置，所述蒸镀方法包括：

将待蒸镀器件固定于蒸镀基台；

沿第一方向移动蒸镀单元，所述蒸镀单元的第一蒸镀源和第二蒸镀源用于在所述待蒸镀器件上蒸镀不同材料；其中，在同一时刻，所述第一蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第一蒸镀区域包括沿所述第一方向连续设置的第一部分和第二部分，所述第二蒸镀源在所述待蒸镀器件上的第二蒸镀区域与所述第二部分重叠；

随着所述蒸镀单元的移动，所述第二蒸镀区域和所述第二部分在所述待蒸镀器件上形成第一膜层，所述第一部分在所述第一膜层上形成第二膜层。

7.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，在所述将待蒸镀器件固定于蒸镀基台的步骤中，所述待蒸镀器件包括基板和形成于所述基板上的第一电极层；

所述第一膜层形成于所述第一电极层上。