[发明专利]压电复合材料的加工方法

权利要求书

1.一种压电复合材料的加工方法，其特征在于：包括如下步骤：

1)将压电材料的第二面贴合在平面上；

2)切割压电材料的第一面并在所述第一面上形成第一切割槽；

3)向所述第一切割槽内填充聚合物并固化；

4)将所述压电材料从所述平面上取下；

5)将压电材料的第一面贴合在平面上；

6)沿着所述第一切割槽切割压电材料的第二面并在所述第二面上形成第二切割槽，使所述第一切割槽和第二切割槽贯通；所述第一切割槽和第二切割槽的深度满足：

l₁+l₂≥h

l₁＜h

l₂＜h

其中，h为压电材料的厚度；l₁为第一切割槽的深度；l₂为第二切割槽的深度；

7)向所述第二切割槽内填充聚合物并固化；

8)将所述压电材料从所述平面上取下，得到压电复合材料。

2.根据权利要求1所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：所述平面的平面度误差小于等于3um。

3.根据权利要求1所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：所述步骤1)和步骤5)中，采用蜡膜或UV膜将所述压电材料贴合在所述平面上。

4.根据权利要求3所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：采用蜡膜将所述压电材料贴合在所述平面上的方法为：将所述压电材料的第一面或第二面贴合在平面上的方法为：在平面上设置蜡膜，加热所述蜡膜，使所述蜡膜融化，而后将所述压电材料的第一面或第二面通过所述蜡膜粘接在所述平面上。

5.根据权利要求4所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：所述步骤4)和步骤8)中，将所述压电材料从所述平面上取下的方法为：加热所述蜡膜，使所述蜡膜融化，而后将所述压电材料从所述平面上取下。

6.根据权利要求1所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：所述步骤3)中，向所述第一切割槽内灌注过量的聚合物，且当聚合物固化后，去除多余的聚合物直至压电材料的第一面显现出来；

所述步骤7)中，向所述第二切割槽内灌注过量的聚合物，当聚合物固化后，去除多余的聚合物至压电材料的第二面显现出来。

7.根据权利要求1所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：

所述压电材料采用压电陶瓷或压电单晶；

所述压电复合材料的构型为1-3型或2-2型；

所述压电复合材料的频率为15-30MHz。

8.根据权利要求1所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：所述聚合物采用环氧树脂、硅胶、橡胶或聚氨酯。

9.根据权利要求1所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：所述第一切割槽的深度还满足：

所述第二切割槽的深度还满足：

10.根据权利要求1-9任一项所述压电复合材料的加工方法，其特征在于：还包括步骤9)，在压电复合材料的第一表面和第二表面上分别设置电极。