[发明专利]量子级联激光器

权利要求书

1.一种量子级联激光器，具备：

第一台面波导，设置在基板上，包含第一芯层；

第二台面波导，设置在所述基板上，包含第二芯层；

第一电极，与所述第一台面波导电连接；

第二电极，与所述第二台面波导电连接；及

电流阻挡区域，设置在所述基板上，将所述第一台面波导及所述第二台面波导埋入，

所述第一台面波导及所述第二台面波导沿第一方向延伸，并在与所述第一方向交叉的第二方向上相互分离，

所述电流阻挡区域具有：第一部分，配置在所述第一台面波导与所述第二台面波导之间；及第二部分，设置在所述第一部分上，

所述第一电极及所述第二电极分别具有在所述第二方向上彼此相对的端部，

所述第二部分以超出基准面的方式突出，所述基准面包含所述第一电极的所述端部的表面且在所述第一方向及所述第二方向上延伸。

2.根据权利要求1所述的量子级联激光器，其中，

所述量子级联激光器还具备将所述第二部分覆盖的绝缘层。

3.根据权利要求1或2所述的量子级联激光器，其中，

所述电流阻挡区域具有第三部分、设置在所述第三部分上的第四部分、第五部分、及设置在所述第五部分上的第六部分，

所述第一台面波导配置在所述第一部分与所述第三部分之间，

所述第二台面波导配置在所述第一部分与所述第五部分之间，

所述第四部分及所述第六部分以超出所述基准面的方式突出。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的量子级联激光器，其中，

所述第一台面波导具有第一侧面及第二侧面，

所述第二台面波导具有第三侧面及第四侧面，

所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三侧面及所述第四侧面沿所述第一方向延伸，

所述第二侧面与所述第三侧面相对，

所述第二部分在所述第二方向上从所述第二侧面朝向所述第一侧面延伸，并从所述第三侧面朝向所述第四侧面延伸。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的量子级联激光器，其中，

所述量子级联激光器还具备：

第一接触层，与所述第一台面波导的顶面及所述第一电极电连接；及

第二接触层，与所述第二台面波导的顶面及所述第二电极电连接，

所述第一台面波导具有第一侧面及第二侧面，

所述第二台面波导具有第三侧面及第四侧面，

所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三侧面及所述第四侧面沿所述第一方向延伸，

所述第二侧面与所述第三侧面相对，

所述第一接触层在所述第二方向上延伸至相对于所述第一侧面与所述第二侧面相反的一侧的位置，

所述第二接触层在所述第二方向上延伸至相对于所述第四侧面与所述第三侧面相反的一侧的位置。

6.根据权利要求5所述的量子级联激光器，其中，

所述量子级联激光器还具备：

第一覆盖层，配置在所述第一台面波导的所述顶面与所述第一接触层之间；及

第二覆盖层，配置在所述第二台面波导的所述顶面与所述第二接触层之间，

所述第一覆盖层在所述第二方向上延伸至相对于所述第一侧面与所述第二侧面相反的一侧的位置，

所述第二覆盖层在所述第二方向上延伸至相对于所述第四侧面与所述第三侧面相反的一侧的位置。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的量子级联激光器，其中，

所述第一台面波导与所述第二台面波导之间的距离为30μm以下。

8.根据权利要求5所述的量子级联激光器，其中，

所述量子级联激光器具有沿所述第一方向延伸的第五侧面及第六侧面，

所述第一接触层在所述第二方向上从所述第二侧面延伸至所述第五侧面与所述第一侧面之间的位置，

所述第二接触层在所述第二方向上从所述第三侧面延伸至所述第六侧面与所述第四侧面之间的位置。

9.根据权利要求6所述的量子级联激光器，其中，

所述量子级联激光器具有沿所述第一方向延伸的第五侧面及第六侧面，

所述第一覆盖层在所述第二方向上从所述第二侧面延伸至所述第五侧面与所述第一侧面之间的位置，

所述第二覆盖层在所述第二方向上从所述第三侧面延伸至所述第六侧面与所述第四侧面之间的位置。