[发明专利]一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法

说明书

本发明公开了一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法，包括磁控溅射设备；其特征是还包括安装在磁控溅射设备两侧的供料装置和往复装置；所述供料装置包含自动翻转机构以及处于磁控溅射设备两侧的输送机构；所述自动翻转机构上还安装有推料机构。该发明通过供料装置以及往复装置的设置，通过输送机构对磁材进行自动输入输出，通过自动翻转机构对磁材进行自动翻转，通过升降机构对磁材固定板以及磁材上下转运，通过往复输送机构对磁材固定板以及磁材进行往复转运，自动化程度高，效率高，劳动强度低，节省人工劳动力且产品镀膜质量高。

技术领域

本发明涉及磁控溅射生产线供料装置，具体是指一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法。

背景技术

目前很多磁材都需要在表面进行镀膜处理，在进行镀膜处理时，通常都是将若干磁材放置到磁材固定板上，然后将磁材随之磁材固定板推入磁控溅射设备进行镀膜处理，由于磁材是铺设在磁材固定板上，从而在镀膜时每次只能对磁材的一面进行镀膜加工，一面加工完后磁材固定板从磁控溅射设备另一侧输出后需要人工将磁材固定板以及磁材转运到磁控溅射设备的输入端后对磁材进行翻面在送入磁控溅射设备进行二次镀膜，镀膜一面加工完后需要通过人工转运以及人工翻片后才能进行另一面的镀膜加工，生产效率低、劳动强度高，并且镀膜后的工件具有较高的温度，如果采用手工翻片操作，需要等待工件冷却至可触摸温度时才可进行作业，较为浪费时间，并且等冷却后在对磁材镀膜很容易导致磁材两面镀膜效果不一，影响产品质量。为此，提出一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法。

发明内容

本发明的目的是为了解决磁材单面镀膜后需要人工转运以及人工翻片，导致生产效率低、劳动强度高且等冷却后在对磁材镀膜很容易导致磁材两面镀膜效果不一，影响产品质量的问题而提出一种磁控溅射生产线用往复式供料装置及供料方法。

为了达到上述目的，本发明提供了如下技术方案一种磁控溅射生产线用往复式供料装置，包括磁控溅射设备；其特征是还包括安装在磁控溅射设备两侧的供料装置和往复装置；所述供料装置包含自动翻转机构以及处于磁控溅射设备两侧的输送机构；所述自动翻转机构上还安装有推料机构。

进一步优选的，所述输送机构包含输送机架、安装在输送机架上的若干带座轴承以及活动安装在带座轴承上的传动杆，所述传动杆一侧还安装有齿轮，所述齿轮上连接有链条；所述输送机架上还安装有输送电机，所述输送电机与齿轮通过链条传动连接；所述磁控溅射设备一侧的输送机构与往复装置连接，另一侧的输送机构与供料装置连接；所述输送机架上还安装有感应器。

进一步优选的，所述往复装置包含升降机构和往复输送机构；所述升降机构包含升降机架、安装在升降机架上的升降气缸以及滑动安装在升降机架上且与升降气缸连接的升降架。

进一步优选的，所述升降机架上设有若干导向槽，所述升降架上设有与导向槽相适配的导向块。

进一步优选的，所述往复输送机构包含往复底架；所述往复底架和升降架上均设有若干带座轴承，所述带座轴承上活动安装有传动杆，传动杆一端安装有齿轮，齿轮上连接有链条，所述往复底架上安装有与链条传动连接的往复电机，升降架上安装有与升降架上链条传动连接的升降电机；所述升降架和往复底架上均设有感应器，所述升降架上还设有行程开关。

进一步优选的，所述自动翻转机构包含机架、安装在机架上的固定架、安装在固定架上的磁材固定板、安装在机架上且与固定架传动连接的动力机构、安装在固定架上的夹紧机构以及安装在机架上且与动力机构和夹紧机构通过线路连接PLC控制箱；所述推料机构包含安装在机架上的顶料架、安装在顶料架上的顶升气缸、滑动安装顶料架上且与顶升气缸固定连接的推料架以及安装在推料架上的推料气缸。

进一步优选的，所述动力机构包含安装在机架上的电机以及与电机传动连接的减速机；所述机架两侧还设有轴承固定座，所述固定架两侧设有固定杆，所述固定架通过固定杆和轴承固定座的配合活动安装在机架上，其中一侧的固定杆与减速机传动连接；所述固定架上还设有若干支撑块。