[发明专利]一种晶圆传输机械手

权利要求书

1.一种晶圆传输机械手，以将晶圆以竖直状态在清洗模块的清洗单元中完成清洗后取出，再通过翻转后以水平状态置入清洗模块的干燥单元；

包括有：

横向传输轴；

横向传输拖板，设置在所述横向传输轴上，并能够沿所述横向传输轴做横向运动；

第一垂直升降轴，设置在所述横向传输拖板上，并能够在所述横向传输拖板上做竖直运动；

旋转台，设置在所述第一垂直升降轴上；

第一卡爪夹持臂，与所述旋转台相连，并由所述旋转台驱动做旋转运动，用于对晶圆进行取放；

所述清洗单元包括：干燥前单元和清洗模块其他单元；所述干燥单元和清洗模块其他单元位于所述干燥前单元的两侧；

其特征在于：

所述第一卡爪夹持臂通过向远离所述干燥单元的方向做横向运动、第一垂直升降轴带动第一卡爪夹持臂竖直向下运动、旋转台带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元一侧旋转至晶圆达到水平状态的三个运动方向的联动或非联动动作实现晶圆从竖直状态翻转为水平状态。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输机械手，其特征在于：还包括至少一个第二垂直升降轴，设置在所述横向传输拖板上，并能够在所述横向传输拖板上做竖直运动；所述第一垂直升降轴位于所述第二垂直升降轴和所述干燥单元之间；每个所述第二垂直升降轴上还设置有第二卡爪夹持臂，用于与第一卡爪夹持臂配合进行清洗模块其他单元到干燥前单元之间的晶圆传送。

3.根据权利要求2所述的晶圆传输机械手，其特征在于：所述第一卡爪夹持臂与所述第二卡爪夹持臂相比更靠近于所述干燥单元。

4.根据权利要求1所述的晶圆传输机械手，其特征在于：所述横向传输轴仅位于所述清洗单元一侧，以使得横向传输拖板不会运行到干燥单元一侧。

5.根据权利要求1或4所述的晶圆传输机械手，其特征在于：所述横向传输轴布置于清洗单元的上方。

6.根据权利要求1所述的晶圆传输机械手，其特征在于：在三个运动方向联动动作时，横向传输拖板带动第一卡爪夹持臂向远离所述干燥单元的方向做横向运动，旋转台带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元一侧旋转至晶圆达到水平状态，第一垂直升降轴带动第一卡爪夹持臂竖直向下运动至一定位置，将晶圆置入干燥单元。

7.根据权利要求1所述的晶圆传输机械手，其特征在于：在三个运动方向非联动动作时，横向传输拖板带动第一卡爪夹持臂向远离所述干燥单元的方向做横向运动；然后旋转台带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元一侧旋转至晶圆达到水平状态；接着第一垂直升降轴带动第一卡爪夹持臂竖直运动至一定位置；随后横向传输拖板带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元的方向横向运动至晶圆位于干燥单元的上方；第一垂直升降轴带动第一卡爪夹持臂竖直向下运动至晶圆位于干燥单元内部指定机构；第一卡爪夹持臂松开晶圆，使晶圆位于干燥单元内部指定机构上；

或者说，在三个运动方向非联动动作时，横向传输拖板带动第一卡爪夹持臂向远离所述干燥单元的方向做横向运动；然后旋转台带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元一侧旋转至晶圆达到水平状态；随后横向传输拖板带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元的方向横向运动至晶圆位于干燥单元的上方；第一垂直升降轴带动第一卡爪夹持臂竖直向下运动至晶圆位于干燥单元内部指定机构；第一卡爪夹持臂松开晶圆，使晶圆位于干燥单元内部指定机构上；

或者说，在三个运动方向非联动动作时，旋转台带动第一卡爪夹持臂向靠近所述干燥单元一侧旋转至晶圆达到水平状态；随后横向传输拖板带动第一卡爪夹持臂横向运动至晶圆位于干燥单元的上方；第一垂直升降轴带动第一卡爪夹持臂竖直向下运动至晶圆位于干燥单元内部指定机构；第一卡爪夹持臂松开晶圆，使晶圆位于干燥单元内部指定机构上。

8.根据权利要求1所述的晶圆传输机械手，其特征在于：所述清洗模块其他单元为晶圆过渡单元、兆声清洗单元、刷洗单元中的一个或多个。